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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0937743 (1992-09-01) |
우선권정보 | JP-0226145 (1991-09-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 104 인용 특허 : 0 |
A vapor phase growth apparatus is disclosed, which comprises a boat accommodating therein a plurality of semiconductor substrates, an inner tube surrounding the boat, an outer tube disposed outside the inner tube, a heater disposed outside the outer tube, a reaction gas injection nozzle disposed ins
A vapor phase growth apparatus, comprising: a boat accomodating therein a plurality of semiconductor substrates; an inner tube surrounding said boat; an outer tube disposed outside said inner tube; a heater disposed outside said outer tube; a reaction gas injection nozzle disposed in said inner tube
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