[특허]Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate

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Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-028/04 C23C-016/30
출원번호	US-0866079 (1992-04-01)
발명자 / 주소	Jindal Prem C. (Greensburg PA) Quinto Dennis T. (Greensburg PA)
출원인 / 주소	Kennametal Inc. (Latrobe PA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 0

초록 ▼

A process for physical vapor deposition of a refractory coating such as titanium nitride on a nonconductive substrate such as a ceramic substrate and the coated substrate produced thereby. The nonconductive substrate is coated by cleaning the nonconductive substrate surfaces and then depositing a first layer of a refractory metal such as titanium metal on the nonconductive substrate by physical vapor deposition. A second layer of a refractory compound such as titanium nitride is then deposited on the first layer by physical vapor deposition to produce a coated nonconductive substrate having enhanced coating adhesion.

대표청구항 ▼

A tool insert coated by physical vapor deposition using an applied electrical bias comprising: (a) a nonconductive ceramic substrate; (b) a first layer of titanium deposited by physical vapor deposition on said ceramic substrate; (c) a second layer of titanium nitride adherently deposited on said first layer by physical vapor deposition; and (d) wherein said tool insert is a metal cutting insert having a flank face, a rake face and a cutting edge at the juncture of said flank face and said rake face.

이 특허를 인용한 특허 (19)

Fink Klaus, Article of manufacture having at least in part the surface appearance of brass with a ceramic barrier coating.
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Mehrotra, Pankaj K.; Wu, Shanghua, Ceramic body reinforced with coarse silicon carbide whiskers and method for making the same.
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Beeghly Craig W. (Raleigh NC) Ahuja Deepak P. (Greensburg PA) Mehrotra Pankaj K. (Greensburg PA) Niebauer Kenneth L. (Raleigh NC), Ceramic cutting tool with chip control.
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Prizzi John J. ; Jindal Prem C. ; Bryant William A. ; North Bernard, Coated cutting tool.
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Tien Tseng-Ying ; Huang Zhen-Kun, Cutting tools and wear resistant articles and material for same.
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Chen I-Wei ; Rosenflanz Anatoly, In-situ toughened alpha prime-sialon-based ceramics.
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Mehrotra,Pankaj K.; Wu,Shanghua, Method for making silicon carbide whiskers.
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Matsubara Masaru,JPX, Method for manufacturing silicon nitride sintered body.
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Okonogi Kensuke,JPX, Method of cleaning a surface of a semiconductor substrate by a heat treatment in an inert gas atmosphere.
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Ameen Michael S. ; Hillman Joseph T., Method of low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition of tin film over titanium for use in via level appl.
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Chen I-Wei ; Rosenflanz Anatoly, Method of making in-situ toughened alpha prime SiAlon-based ceramics.
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Ameen, Michael S.; Hillman, Joseph T.; Leusink, Gert; Ward, Michael; Yasar, Tugrul, Method of passivating and stabilizing a Ti-PECVD process chamber and combined Ti-PECVD/TiN-CVD processing method and apparatus.
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Mehrotra, Pankaj K.; Garman, Mark A.; Lipniskis, Chuck E.; Battaglia, Frank B., Process for heat treating ceramics.
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Mehrotra, Pankaj K.; Garman, Mark A.; Lipniskis, Chuck E.; Battaglia, Frank B., Process for heat treating ceramics and articles of manufacture made thereby.
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Matsubara Masaru,JPX, Silicon nitride sintered body, method for manufacturing the same, and cutting insert formed of the sintered body.
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Groll,William A., Stick resistant ceramic coating for cookware.
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William A. Groll, Stick resistant coating for cookware.
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Mehrotra Pankaj K. ; Huston William R., Whisker reinforced ceramic cutting tool and composition thereof.
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Mehrotra Pankaj K. ; Huston William R., Whisker reinforced ceramic cutting tool and composition thereof.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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