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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0875967 (1992-04-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 23 |
Elastic and plastic deformation of backing plate members in target-backing plate cathode assemblies for cathodic sputter coating apparatus are minimized by the provision of a concave surface portion located at the target/backing plate interface and by provision of a backing plate material having a y
Cathode assembly for use in a cathodic sputter coating apparatus, said assembly including a backing plate in contact with a pressurized flow of cooling fluid and being deformable upon application of pressure thereto by said pressurized cooling fluid, a target member carrying material to be sputter c
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