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[미국특허] Thermal mass flow sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01F-001/68
  • G01F-005/00
출원번호 US-0947889 (1992-09-18)
발명자 / 주소
  • Vavra Randall J. (Orange CA) Nguyen Lam T. (Garden Grove CA) Tran Erik Q. (Garden Grove CA)
출원인 / 주소
  • Unit Instruments, Inc. (Orange CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 43  인용 특허 : 0

초록 ▼

A vertical flow thermal mass flow sensor for a vertical flow thermal mass flow meter of a vertical flow thermal mass flow controller has a sensor tube having a gas inlet for receiving a gas to be metered. The sensor tube includes a first curved convection trap and a second curved convection trap for

대표청구항 ▼

A thermal mass flow sensor for use in a thermal mass flow meter having a bypass carrying a flow of gas in a bypass flow direction, comprising: a sensor tube having a gas inlet for receiving a sensor portion of the gas from the upstream bypass portion, said sensor tube having a first convection trap

이 특허를 인용한 특허 (43) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Ambrosina, Jesse; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor.
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  2. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao, Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor.
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  3. Ambrosina, Jesse; Suzuki, Isao; Shajii, Ali, Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller.
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  4. L'Bassi,Michael; Quaratiello,Mark J.; Bouley,Ronald H., Attitude error self-correction for thermal sensors of mass flow meters and controllers.
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  5. Larson,Dwight S., Attitude insensitive flow device system and method.
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  6. Ding,Junhua; L'Bassi,Michael; Zarkar,Kaveh H., Compensation for thermal siphoning in mass flow controllers.
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  7. Moon Roger A., Component heater for use in semiconductor manufacturing equipment.
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  8. van Putten,Maurituis H. P. M.; van Putten,Anton F. P.; van Putten,Michel J. A. M.; V Putten,Pascal F A M, Drift-free thermodynamic anemometry.
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  9. Wang, Liming, Exhaust gas sensor.
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  10. Bos,Jeroen Wouter; Hoitink,Ronald Wilhelmus Johannes; Besseling,Johannes Henricus; L��tters,Joost Conrad, Flow sensor of the thermal type.
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  11. Inagaki, Hiroyuki; Warashina, Isamu, Flowmeter having a bent inlet passage for constant flow-velocity distribution.
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  12. Zurek, Lawrence A.; Myers, Eric Christopher, Fluid flow meter having an improved sampling channel.
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  13. Ritchart Thomas R., Fluid thermal mass flow sensor.
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  14. Myers, Eric C.; Zurek, Lawrence A.; Caron, Richard W., Hot-wire mass flow sensor with low-loss bypass passage.
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  15. Lukas Paul ; Gagnon Daniel F. ; Johnson Daniel ; Farrar Christopher D. ; Knight John D. ; Gillis John J., Line leak detection.
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  16. Jarvie, Ian F., Line leak detector and method of using same.
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  17. Jarvie, Ian F., Line leak detector and method of using same.
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  18. Smirnov, Alexei V.; McDonald, R. Mike; Mauck, Justin, Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements.
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  19. Arnold, Armin; Wiedemann, Juergen, Mass flow measuring or controlling device.
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  20. Wang,Chiun; Redemann,Eric J, Mass flow meter or controller with inclination sensor.
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  21. McMillan Robert D. ; McMillan Robert M., Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses.
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  22. McMillan Robert D. ; McMillan Robert M., Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses.
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  23. Zurek, Lawrence A.; Myers, Eric C., Mass fluid flow sensor having an improved housing design.
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  24. Ike, Shinichi, Measuring apparatus and method of manufacturing the measuring apparatus.
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  25. Lull, John Michael; Urdaneta, Nelson, Method and apparatus for balancing resistance.
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  26. Zolock, Michael John; Ito, Hiroyuki, Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller.
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  27. Tinsley,Kenneth E.; Tariq,Faisal, Method and system for a mass flow controller with reduced pressure sensitivity.
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  28. McDonald, R. Mike, Method and system for operating a mass flow controller.
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  29. Lull, John Michael; Wang, Chiun; Saggio, Jr., Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
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  30. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
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  31. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
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  32. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
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  33. David P. Sheriff ; Chiun Wang, Pressure insensitive gas control system.
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  34. Lull, John M.; Wang, Chiun; Valentine, William S.; Saggio, Jr., Joseph A., System and method for a mass flow controller.
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  35. Lull,John M.; Wang,Chiun; Valentine,William S.; Saggio, Jr.,Joseph A., System and method for a mass flow controller.
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  36. Lull,John M; Wang,Chiun; Valentine,William S; Saggio, Jr.,Joseph A, System and method for a mass flow controller.
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  37. Lull,John M; Wang,Chiun; Valentine,William S; Saggio, Jr.,Joseph A, System and method for a mass flow controller.
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  38. Hartman, Neil W.; Roberts, Colin A.; Mitchell, Marcus A., Systems and methods for detecting flow of a fluid.
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  39. Lull, John Michael; Jhoty, Gawtam, Thermal flow meter.
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  40. Doyle Michael J. ; LeMay Dan B. ; Vu Kim N., Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor.
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  41. Lull, John Michael, Variable resistance sensor with common reference leg.
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  42. Lull,John Michael, Variable resistance sensor with common reference leg.
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  43. Ding,Junhua; L'Bassi,Michael; Zarkar,Kaveh H., Vertical mount mass flow sensor.
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