[특허]Thermal mass flow sensor

Unit Instruments, Inc. (Orange CA 02)

Thermal mass flow sensor

국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01F-001/68 G01F-005/00
출원번호	US-0947889 (1992-09-18)
발명자 / 주소	Vavra Randall J. (Orange CA) Nguyen Lam T. (Garden Grove CA) Tran Erik Q. (Garden Grove CA)
출원인 / 주소	Unit Instruments, Inc. (Orange CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 43 인용 특허 : 0

초록 ▼

A vertical flow thermal mass flow sensor for a vertical flow thermal mass flow meter of a vertical flow thermal mass flow controller has a sensor tube having a gas inlet for receiving a gas to be metered. The sensor tube includes a first curved convection trap and a second curved convection trap for preventing convective flow of the gas through the sensor tube. A thermally responsive winding is wound about the sensor tube and is energized from a source of electrical energy. The resistance of the thermally responsive winding is responsive to the rate of flow of the gas through the sensor tube and provides an indication thereof.

대표청구항 ▼

A thermal mass flow sensor for use in a thermal mass flow meter having a bypass carrying a flow of gas in a bypass flow direction, comprising: a sensor tube having a gas inlet for receiving a sensor portion of the gas from the upstream bypass portion, said sensor tube having a first convection trap and a second convection trap for preventing convective flow of the sensor portion of the gas through the sensor tube, one of said first and second convection traps having a first leg parallel with the bypass for carrying the sensor portion of the gas parallel with the flow of gas through the bypass and having a second parallel leg for carrying the sensor portion of the gas antiparallel with the flow of gas through the bypass, said sensor tube having a gas outlet for exhausting the sensor portion of the gas; and a thermally responsive element in good thermal conduction with said sensor tube for energization from a source of electrical energy, an electrical characteristic of the thermally responsive element being responsive to the rate of flow of the sensor portion of the gas through said sensor tube.

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