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Modular bubbler container automatic refill system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65B-001/30
  • B65B-003/26
출원번호 US-0876735 (1992-04-27)
발명자 / 주소
  • Goossens Dirk (St. Niklass BEX)
출원인 / 주소
  • Olin Hunt Specialty Products, Inc. (Cheshire CT 02)
인용정보 피인용 횟수 : 31  인용 특허 : 0

초록

A modular automatic refill system using a plurality of individual microprocessor controlled modules to control a plurality of liquid chemical temperature controllers is provided wherein replenishing liquid chemical is automatically supplied from a chemical bulk supply unit to a plurality of bubbler

대표청구항

A modular automatic liquid chemical refill system comprising: (a) a plurality of working containers for receiving and retaining a liquid chemical and dispensing a vapor made from said liquid chemical; each working container having associated with it at least one liquid leveling sensor and at least o

이 특허를 인용한 특허 (31)

  1. Teff, Daniel J.; Chagolla, John L., Additives to prevent degradation of cyclic alkene derivatives.
  2. Teff, Daniel J.; Chagolla, John L., Additives to prevent degradation of cyclic alkene derivatives.
  3. Teff, Daniel J.; Chagolla, John L., Additives to prevent degradation of cyclic alkene derivatives.
  4. Teff, Daniel J.; Chagolla, John L., Additives to prevent degradation of cyclic alkene derivatives.
  5. Scholz,Christoph, Apparatus and process for refilling a bubbler.
  6. Blatt, Christopher S.; Pearce, Richard H.; Williams, Graham; Wentworth, III, Edward H., Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals.
  7. Christopher S. Blatt ; Richard H. Pearce ; Graham Williams GB; Edward H. Wentworth, III, Automatic refill system for ultra pure or contamination sensitive chemicals.
  8. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
  9. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  10. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  11. Gregg John N. ; Noah Craig M. ; Jackson Robert M., Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  12. John N. Gregg ; Craig M. Noah ; Robert M. Jackson, Chemical delivery system having purge system utilizing multiple purge techniques.
  13. Davison, Dale A., Chromatographic solvent monitor.
  14. Davison,Dale A., Chromatographic solvent monitor.
  15. Nakagawa, Toshiyuki; Shigemoto, Takamitsu; Uetake, Yoshio; Kimoto, Masahiro; Shigeno, Tetsuro; Muro, Masaaki; Nakamoto, Naoyuki, Device for supplying the liquid material inside a filling container and method of controlling the liquid level inside the filling container for said liquid material supply device.
  16. Turker Ahmet,DEX ; Bruckner Rolf,DEX ; Baumgarten Siegfried,DEX ; Harms Heye,DEX, Filling adapter for a metering device.
  17. Cripe Jerry D. (Tempe AZ) Menchio Michael P. (Mesa AZ) Rak Kevin (Scottsdale AZ), Hazardous material liquid dispensing system and method.
  18. Nguyen Son T. ; Hendrickson Scott, Method and apparatus for generating controlled mixture of organic vapor and inert gas.
  19. Pomarede, Christophe; Shero, Eric; Verghese, Mohith; Maes, Jan Willem; Wang, Chang-Gong, Methods of vapor deposition with multiple vapor sources.
  20. Pomarede, Christophe; Shero, Eric; Verghese, Mohith; Maes, Jan Willem; Wang, Chang-Gong, Multiple vapor sources for vapor deposition.
  21. Mayorga, Steven Gerard; Haas, Mary Kathryn; O'Neill, Mark Leonard; Sinatore, Dino, Process stability of NBDE using substituted phenol stabilizers.
  22. Kang, Gu-Young, Raw material providing device for chemical vapor deposition process.
  23. Rodgers Donald B., Self-metering reservoir.
  24. Rodgers Donald B., Self-metering reservoir.
  25. Rodgers Donald B., Self-metering reservoir.
  26. Rodgers Donald B., Self-metering reservoir.
  27. Kanjolia, Ravi; Platts, Chris; Nguyen, Nam; Wilkinson, Mark, Solid precursor delivery assemblies and related methods.
  28. Sasaki, Go; Ito, Takanori, Storage container for liquid chlorosilane and closing lid therefor.
  29. Scholz, Christoph, Storage vessel for liquid high-purity substances.
  30. Rodgers, Donald B., System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel.
  31. Fima, Raoul G., Tank monitor system.
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