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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0742391 (1991-08-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 75 인용 특허 : 0 |
A method for forming interconnections in microelectronic devices, including interconnections through small vias between different layers in the microelectronic devices include the spin coating of a film comprising a polyoxometalate and an organic material on the substrate. The film is optionally pat
A method of selectively forming interconnections in a microelectronic device comprising: spin coating on a surface of said microelectronic device a solution containing a polyoxometalate and an organic constituent, the polyoxometalate containing at least one element selected from the group consisting
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