[특허]Apparatus and method for detecting particles on a substrate

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-021/00
출원번호	US-0922057 (1992-07-29)
우선권정보	JP-0067258 (1991-07-30)
발명자 / 주소	Taniguchi Minoru (Miyanohigashi JPX) Ishihara Masaaki (Miyanohigashi JPX) Hagiwara Takashi (Miyanohigashi JPX)
출원인 / 주소	Horiba, Ltd. (Kyoto JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 0

초록 ▼

An apparatus and method for observing the location of minute particles on a substrate and adjusting for any inclination of the substrate surface is provided. A support station can mount a substrate for movement in both the X and Y planes and in the vertical plane. A laser scanning optical device can determine the locations of minute particles. The coordinates of any inclination of support surface is determined and is used to vary the particle positions so that a subsequent examination by a microscope will be easily accomplished with an in-focus position.

대표청구항 ▼

An apparatus for observing the location of minute particles on a substrate, comprising: means for moving a substrate; means for determining any inclination of a substrate surface relative to a predetermined plane and providing data defining coordinates of inclination; means for determining a location of any particles on a substrate and providing data defining the coordinates of such particles; means for magnifying the particles to permit observation including means for defining a focal plane in which the particles are in focus, and means for activating the moving means in accordance with the data of the coordinates of a particle and the data of the coordinates of inclination to position the substrate within the focal plane of the magnifying means to enable an observer to view an enlargement of a particle in an in-focus position.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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