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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0981716 (1992-11-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 0 |
A precision positioning stage assembly, comprising a movable stage, a drive screw having it axis parallel to the direction of movement of the stage, a follower threadably engaged with the drive screw, and a linear guide rail for supporting one side of the stage. The linear guide rail has its axis pa
In a precision positioning stage assembly, comprising: a movable stage; a lead screw having a longitudinal axis parallel to the direction of movement of said stage; a follower threadably engaged with said lead screw; a linear guide rod for supporting one side of said stage, said linear guide rod hav
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