[특허]Unmanned conveying device in clean room

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H05K-003/00 B60L-011/00
출원번호	US-0850668 (1992-03-13)
발명자 / 주소	Sugita Masanao (Ise JPX) Kawano Hitoshi (Ise JPX) Yamashita Teppei (Ise JPX)
출원인 / 주소	Shinko Electric Co., Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 31 인용 특허 : 0

초록 ▼

An unmanned conveying device for a clean room is capable of restraining a spontaneous oxide film from growing in case that an unmanned carriage is obliged to stop for a long time due to its own cause of a cause at a destination spot while it conveys a semiconductor wafer from one spot to the destination spot. It is a first aspect of the invention to provide the unmanned conveying device which is self-propelled for conveying an object from a ground facility to a destination spot while loading an object to be conveyed thereon, characterized in that the object is accommodated in a container and the container is connected to an inert gas reservoir through a gas supply passage so that the atmosphere in the container can be replaced by a nitrogen gas. It is a second aspect of the invention to provide an unmanned conveying device for a clean room provided with a container for accommodating an object to be conveyed therein, the container being connected to an inert gas reservoir through a gas supply passage so that the air in the container can be replaced by a nitrogen gas, characterized in that the unmanned conveying device has a coupler unit mounted thereon and connected to the gas supply passage and the inert gas reserving source is located on the ground and connected to a coupler unit of a coupler device on the ground through a pipe and the gas supply passage is connected to the inert gas reservoir through both coupler unit.

대표청구항 ▼

An apparatus for a clean room, comprising: an unmanned conveying device provided with a container for accommodating an object to be conveyed thereon, the container being connected to an inert gas source through a gas supply passage so that the atmosphere in the container can be replaced by a nitrogen gas, wherein the unmanned conveying device has a coupler device with a first coupler unit which is connected to the gas supply passage and the inert gas source is located on the ground and connected to a second coupler unit of a coupler device on the ground through a pipe, the gas supply passage being connected to the inert gas source when the coupler units are releasably coupled to each other, wherein the coupler device on the ground has a reciprocating mechanism for permitting the second coupler unit thereof to reciprocate relative to the first coupler unit of the coupler device on the unmanned conveying device, wherein the second coupler unit on the ground has first connectors electrically coupled to a first circuit disposed in the coupler device on the ground and has a first gas passage coupling which communicates with the inert gas source, wherein the first coupler unit of the coupler device on the unmanned conveying device has second connectors electrically coupled to a second circuit disposed in the unmanned conveying device and engageable with the first connector sand has a second gas passage coupling which communicates with the gas supply passage and is engageable with the first gas passage coupling, and wherein when the first and second coupler units are releasably coupled the gas supply passage communicates with the inert gas source through the first and second gas passage couplings and the first and second circuits are electrically coupled through the first and second connectors.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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