최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0122766 (1993-09-16) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 130 인용 특허 : 0 |
An improved precision cleaning method includes introducing a solvent to a cleaning vessel, placing a workpiece in the cleaning vessel and contacting the workpiece with the solvent during a residence period. The cleaning vessel is then pressurized to a target pressure by adding carbon dioxide to the
A system for cleaning a workpiece with a supercritical cleaning fluid, comprising: a pressurizable cleaning vessel for receiving the workpiece, said cleaning vessel having an inlet and an outlet; a letdown valve in communication with said outlet; a heater for controlling the temperature of said clea
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.