[특허]Apparatus for coating substrates using a microwave ECR plasma source

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Apparatus for coating substrates using a microwave ECR plasma source 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/50
출원번호	US-0908446 (1992-06-30)
발명자 / 주소	Geisler Michael (Waechtersbach DEX) Koetter-Faulhaber Rudolf (Karben DEX) Jung Michael (Kahl/Main DEX)
출원인 / 주소	Leybold Aktiengesellschaft (Hanau DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록 ▼

An apparatus and a method for producing layers on the surfaces of workpieces, preferably on spotlight, or headlight, reflector inserts formed of plastic, includes an apparatus having a vacuum chamber that can be operated as a batch system with a PCVD coating process, where a microwave ECR plasma coating source is used, and the workpieces to be coated are secured to a rotary cage arranged in the vacuum chamber. The rotary cage can be conducted past a microwave coating source with a frequency-matched and phase-matched planetary motion. Such a coating process can be used in a vacuum chamber, under plasma, and at pressures below 2×10-2 mbar.

대표청구항 ▼

An apparatus for producing layers of arbitrary thickness on a surface, to be operated as a batch system using a plasma chemical vapor deposition coating process comprising: a) a vacuum chamber: b) a rotary cage, having a number of holding members rotatably secured to the rotary cage, arranged in the vacuum chamber such that the rotary cage is capable of rotation with a frequency-matched and phase-matched planetary motion with respect to the holding members, the rotary cage being adapted to secure workpieces thereto; c) a microwave ECR plasma coating source, including a microwave field operated at a frequency ranging from 1 MHz to 2.45 GHz; and d) means for supplying gas to and removing gas from the vacuum chamber including a plurality of heated gas distribution conduits for carrying processed gases, the heated gas distribution conduits being mounted between a plurality of free magnet pulls in the vacuum chamber.

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Fraizer, Robert L., Lamp reflector with a barrier coating of a plasma polymer.
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Ogure, Naoaki; Inoue, Hiroaki, Method and apparatus for protection of substrate surface.
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Heinrich Grunwald DE; Thomas Schulte DE; Klaus Nauenburg DE; Wilfried Dicken DE, Method for the coating of substrates made of plastic.
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You, Hyun Jong; Jang, Soo Ouk; Jung, Yong Ho; Lee, Bong Ju, Microwave antenna for generating plasma.
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Borst,Keith M.; Gallucci,Robert R.; Iacovangelo,Charles D.; LeGrand,Donald G., Reflective article and method for the preparation thereof.
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Gallucci,Robert R.; Iacovangelo,Charles D.; LeGrand,Donald G.; Wilson,James R., Reflective article and method for the preparation thereof.
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Burns Steven M. ; Varsell Richard William, Variable tilting tumbler vacuum coating apparatus.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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