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Atmosphere sensor and method for manufacturing the sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-027/12
출원번호 US-0082352 (1993-06-24)
발명자 / 주소
  • Manaka Junji (c/o Ricoh Seiki Company
  • Ltd. 1-9-17 Omorinishi Ota-Ku Tokyo 143 JPX)
인용정보 피인용 횟수 : 24  인용 특허 : 0

초록 ▼

A sensor or detector for fluid parameters is in the form of a substrate having at least two cavities and at least two sensing or detecting portions bridging respective cavities. The sensing portions include a first sensing unit which is exposed to the ambient and a second sensing unit which serves a

대표청구항 ▼

A sensor comprising a substrate having at least two cavities formed therein and at least two sensing portions bridged over the respective cavities, said sensing portions comprising a first sensing unit being exposed to ambient atmosphere for sensing the state of the atmosphere and a second sensing u

이 특허를 인용한 특허 (24)

  1. Lee, Don Hee; Hong, Hyung Ki, Absolute humidity sensor.
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  2. Thudor, Mohammad; Makinson, Ian Douglas; Biggs, Philip James; Dickinson, Philip John, Apparatus for delivering humidified gases.
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  3. Thudor, Mohammad; Makinson, Ian Douglas; Biggs, Philip James; Dickinson, Philip John, Apparatus for delivering humidified gases.
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  4. Thudor,Mohammad; Makinson,Ian Douglas; Biggs,Philip James; Dickinson,Philip John, Apparatus for delivering humidified gases.
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  5. Seakins, Paul John; Smith, Malcolm David; Thudor, Mohammad, Breathing assistance apparatus.
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  6. Seakins, Paul John; Smith, Malcolm David; Thudor, Mohammad, Breathing assistance apparatus.
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  7. Seakins, Paul John; Smith, Malcolm David; Thudor, Mohammad, Breathing assistance apparatus.
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  8. Seakins, Paul John; Smith, Malcolm David; Thudor, Mohammad, Breathing assistance apparatus.
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  9. Bilic, Dubravka; McNeil, Andrew C., Combined environmental parameter sensor.
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  10. Hunziker, Werner; Pustan, David; Braun, Stephen, Gas sensor package.
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  11. Newman Robert L. ; Blakesley Patrick B., Gas sensor with orientation insensitivity.
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  12. Mackie,Scott Robert; White,Craig Karl; Huddart,Brett John; Smith,Daniel John; Kadhum,Hussein; Smith,Malcolm David, Gases delivery conduit.
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  13. Jordan, Larry Lee; Knapp, Douglas A., Glass frit wafer bonding process and packages formed thereby.
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  14. Jordan, Larry Lee; Knapp, Douglas A., Glass frit wafer bonding process and packages formed thereby.
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  15. Smith, Daniel John; Kadhum, Hussein; Smith, Malcolm David, Humidified gases delivery apparatus.
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  16. Seakins,Paul John; Smith,Malcolm David; Thudor,Mohammad, Humidifier with parallel gas flow paths.
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  17. Silverbrook,Kia, Placement tool for wafer scale caps.
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  18. Liu, Liang; Ge, Shuai-Ping; Hu, Zhao-Fu; Du, Bing-Chu; Guo, Cai-Lin; Chen, Pi-Jin; Fan, Shou-Shan, Reference leak.
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  19. Mayer, Felix; Hornung, Mark, Sensor accommodated in a housing.
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  20. Pashby, Gary Joseph; Slater, Timothy G.; Gottlieb, Glenn, Single-pole double-throw MEMS switch.
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  21. Helmut Mitter AT; Dieter Wagner AT; Josef Hartl AT, System for measuring humidity.
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  22. Chien, Ke-Chih; Chiu, Ming-Long; Lu, Pao-Yi, Temperature and humidity measuring device deployed on substrate.
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  23. Syllaios, Athanasios J.; Gooch, Roland W.; Schimert, Thomas R., Vacuum package fabrication of integrated circuit components.
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  24. Syllaios,Athanasios J.; Gooch,Roland W.; Schimert,Thomas R., Vacuum package fabrication of integrated circuit components.
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