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Heat exchanger 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F25B-019/00
출원번호 US-0076051 (1993-06-14)
발명자 / 주소
  • Bauer Tibor L. (Hopewell Junction NY) Cavaliere William A. (Verbank NY) Dart
  • II Charles R. (Coral Springs FL) Freebern Timothy H. (LaGrangeville NY) Linnell David C. (Poughkeepsie NY) Miller James
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 0

초록

A heat exchanger includes a housing, a reservoir comprising a solid material mounted within the housing, temperature control means for controlling the temperature of the reservoir, and energy exchange means for allowing thermal contact between the reservoir and a substance for effectuating transfer

대표청구항

A heat exchanger, comprising: a housing; a reservoir comprising a solid material mounted within said housing such that said reservoir is not in contact with interior walls of said housing; temperature control means for controlling the temperature of said reservoir for enabling said reservoir to be c

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Dolechek, Kert, Fluid heating system for processing semiconductor materials.
  2. Dolechek, Kert, Fluid heating system for processing semiconductor materials.
  3. Xia,Li Qun; Xu,Huiwen; Witty,Derek R.; M'Saad,Hichem, In-situ oxide capping after CVD low k deposition.
  4. Syslak, Morten; Folkedal, Leiv Adne; Baldantoni, Antonio, Manifold for heat exchanger and process therefor.
  5. Lakshmanan,Annamalai; Raj,Daemian; Schmitt,Francimar; Kim,Bok Hoen; Balasubramanian,Ganesh, Situ oxide cap layer development.
  6. Moriya, Tsuyoshi; Nagaseki, Kazuya, Substrate processing system, substrate processing method, and storage medium.
  7. Sajoto Talex ; Selyutin Leonid ; Zhao Jun ; Dornfest Charles, Temperature controlled gas feedthrough.
  8. Sajoto, Talex; Dornfest, Charles; Selyutin, Leonid; Zhao, Jun; Ku, Vincent; Jin, Xiao Liang, Temperature controlled gas feedthrough.
  9. Somekh Sasson ; Zhao Jun ; Dornfest Charles ; Sajoto Talex ; Selyutin Leonid ; Ku Vincent ; Wang Chris ; Chang Frank ; Tang Po, Vaporization and deposition apparatus.
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