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Environmental control system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F24F-003/16
  • F24F-007/007
출원번호 US-0033892 (1993-03-19)
발명자 / 주소
  • Marvell Greg A. (Lawrenceville GA) Genco Robert M. (Atlanta GA) Mundt Gregory K. (Duluth GA) Tanaka Michael B. (Atlanta GA)
출원인 / 주소
  • Intelligent Enclosures Corporation (Norcross GA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 33  인용 특허 : 0

초록 ▼

An environmental control systems including a modular isolation chamber is disclosed. Together with associated atmospheric regulatory equipment, the connectable modular chambers provide a smaller, cost-effective alternative to the traditional clean rooms utilized for fabricating or processing semicon

대표청구항 ▼

A transport system including a frame having an interior and adapted to be connected to a modular chamber for enclosing a work piece and isolating it from the remainder of the room in which the transport system and chamber are located, comprising: a. means for providing filtered fluid throughout the

이 특허를 인용한 특허 (33)

  1. Siemers, Warren G.; Hamor, Gary D., Adjustable clean-air flow environment.
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  2. O'Halloran Michael D ; Kohne Wilmar A ; Nelson Stephen W, Apparatus for providing a purified resource in a manufacturing facility.
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  3. Poynter Richard Q. ; Price Jeffrey L. ; Schoenewolff Michael J. ; Derby Michael C., Aseptic liquid filling.
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  4. Terentiev, Alexandre N.; Terentiev, Sergey; Craig, Jeffery Lee, Bioreactor.
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  5. Bennett Ryan Paul ; Zaro ; Jr. Harry Frank ; Iizuka Naoto, Contamination monitoring system.
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  6. Hodge, Geoffrey; Galliher, Parrish; Fisher, Michael, Disposable bioreactor systems and methods.
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  7. Yamada, Fumio; Mochizuki, Akihiro; Okamoto, Yasutoshi, Draft chamber.
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  8. Yamada, Fumio; Mochizuki, Akihiro; Okamoto, Yasutoshi, Draft chamber.
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  9. Savich, Siarhei V., Electrostatic discharge event detector.
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  10. Galliher, Parrish M.; Hodge, Geoffrey L.; Fisher, Michael, Environmental containment systems.
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  11. Jacob Steven D. ; Hrkman ; Jr. Louis ; Laport Michael, Flow control apparatus for a semiconductor manufacturing wet bench.
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  12. Brumett, Anthony Lee, Indoor air treatment system with HEPA filtration.
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  13. Contreras, Joaquin Daniel; Edwards, John Barry, Integrated self-contained plenum module.
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  14. John D. McCrandall ; Tom McMunigal ; Richard E. Rupp, Jr., Material delivery system for clean room-like environments.
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  15. McCrandall John D. ; McMunigal Tom ; Rupp ; Jr. Richard E., Material delivery system for clean room-like environments.
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  16. McCrandall, John D.; McMunigal, Tom; Rupp, Jr., Richard E., Material delivery system for clean room-like environments.
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  17. McMunigal, Tom E.; Finn, Michael A.; McCrandall, John D., Material delivery system for clean room-like environments.
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  18. Yamamoto, Tetsuo; Kato, Tsutomu; Okada, Satoshi; Takebayashi, Yuji, Method of manufacturing semiconductor device.
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  19. Terentiev, Alexandre N.; Terentyev, Sergey, Mixing bag with integral sparger and sensor receiver.
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  20. Fosnight William J., Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges.
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  21. Fosnight,William J., Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges.
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  22. Briggs Bradley R. ; Daniels William R., Overheating protection device for rotational control apparatus.
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  23. Niazi, Sarfaraz K., Pneumatically agitated and aerated single-use bioreactor.
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  24. Krippner,Gerry R.; Gaffney,Dean F., Portable clean molding apparatus and method of use.
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  25. Rebstock, Lutz, Semiconductor cleaner systems and methods.
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  26. Rebstock, Lutz, Semiconductor cleaner systems and methods.
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  27. Matsumoto, Ken, Semiconductor manufacturing apparatus and method.
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  28. Yang Pan SG, Semiconductor manufacturing system.
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  29. Ellwanger, Harald, Storage configuration with predeterminable storage atmosphere.
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  30. Pinson Jay D. ; Brown Brian J. ; Osterheld Thomas H. ; Bonner Benjamin A. ; Bennett Doyle E. ; Shah Nitin ; Flores Paul, Substrate polishing with reduced contamination.
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  31. Hodge, Geoffrey L.; Galliher, Parrish M.; Fisher, Michael, System and method for manufacturing.
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  32. Hodge, Geoffrey; Galliher, Parrish; Fisher, Michael, System and method for manufacturing.
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  33. Speasl, Jerry A.; Dante, Edward, Transportable container including an internal environment monitor.
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