[특허]Method for fabrication solid state radiation imager having improved scintillator adhesion

Method for fabrication solid state radiation imager having improved scintillator adhesion 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-002/302 G01T-001/20
출원번호	US-0115084 (1993-09-02)
발명자 / 주소	Kwasnick Robert F. (Schenectady NY) Ehle Roger S. (Scotia NY) Saia Richard J. (Schenectady NY)
출원인 / 주소	General Electric Company (Schenectady NY 02)
인용정보	피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method of fabricating a radiation imager with strong structural integrity and adhesion between the scintillator and photosensor array includes the steps of forming a photosensor array on a substrate; depositing a barrier layer over the photosensor array, the barrier layer having an upper surface of silicon nitride; treating the silicon nitride upper surface of the barrier layer to prepare the surface for the deposition of material thereover; and depositing a scintillator material over the treated upper surface of the barrier layer. The silicon nitride upper surface of the barrier layer is typically treated by etching the surface, such as in a reactive ion etch, for a selected amount of time, with less than about 500 Åof material being removed from the surface.

대표청구항 ▼

A method of fabricating a mechanically robust amorphous silicon imager having strong adhesion between the scintillator and an underlying moisture barrier layer, comprising the steps of: forming a photosensor array on a substrate; depositing a photosensor array barrier over said photosensor array, said array barrier having an upper surface comprising silicon nitride, said silicon nitride having a thickness of more than 500 Å; treating the silicon nitride surface of said barrier layer to provide enhanced adhesion of the silicon nitride to a scintillator material to be deposited thereover and so as not to remove more than 500 Åof said silicon nitride surface; and depositing a scintillator material over the treated surface of the silicon nitride surface of said barrier layer.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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