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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0270515 (1994-07-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 32 인용 특허 : 0 |
An apparatus and a method for delivering a liquid are disclosed. The liquid contained in a vessel is subjected to a pressurized gas. Any pressurized gas dissolved in the liquid is removed in a degas module by passing the liquid through a gas permeable tube subjected to a pressure differential. Then
A method of dispensing a liquid through a vaporizer within a chemical vapor deposition reactor, said method comprising the steps of: subjecting said liquid to a pressurized gas in a supply vessel so as to force said liquid through a liquid outlet of said supply vessel, some of said pressurized gas t
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