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Device for removing dissolved gas from a liquid 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-019/00
출원번호 US-0270515 (1994-07-05)
발명자 / 주소
  • van Schravendijk Bart J. (Sunnyvale CA) Burkhart Christopher W. (San Jose CA) Santiago Tito H. (San Mateo CA) Pomeroy Charles E. (Santa Clara CA) Lind Jeffrey W. (Santa Cruz CA)
출원인 / 주소
  • Novellus Systems, Inc. (San Jose CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 32  인용 특허 : 0

초록

An apparatus and a method for delivering a liquid are disclosed. The liquid contained in a vessel is subjected to a pressurized gas. Any pressurized gas dissolved in the liquid is removed in a degas module by passing the liquid through a gas permeable tube subjected to a pressure differential. Then

대표청구항

A method of dispensing a liquid through a vaporizer within a chemical vapor deposition reactor, said method comprising the steps of: subjecting said liquid to a pressurized gas in a supply vessel so as to force said liquid through a liquid outlet of said supply vessel, some of said pressurized gas t

이 특허를 인용한 특허 (32)

  1. Thielen, Thomas; Gerner, Yuri; Sims, Carl W., Axial degassing transfer lines.
  2. Gerner, Yuri; Sims, Carl W.; Thielen, Thomas J., Axial transfer line degassing.
  3. Gerner,Yuri; Sims,Carl W.; Thielen,Thomas, Axial transfer line degassing.
  4. Gerner Yuri ; Sims Carl W., Bottle top solvent degasser.
  5. Udagawa, Seiichiro, Chemical liquid apparatus and deaerating method.
  6. Yajima, Takeo, Chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply method.
  7. Jackson, Michael R.; Seith, Christopher; Bala, Senthil; Fredette, Colin; Sok, Maruth; Gomez, Carlos; Shreve, Joshua A., Degassing liquid eluent of a preparative SFC fluid chromatography system.
  8. van Schravendijk Bart J. ; Burkhart Christopher W. ; Santiago Tito H. ; Pomeroy Charles E. ; Lind Jeffrey W., Device for removing dissolved gas from a liquid.
  9. Gerner, Yuri; Sims, Carl W.; Thielen, Thomas, Elliptical tubing in degassing and pulsation dampener application.
  10. Yuji Matsuyama JP, Filter unit and solution treatment unit.
  11. Sims, Carl; Gerner, Yuri; Liu, Quan, Fluid degassing apparatus.
  12. Liu, Quan; Sims, Carl; Gerner, Yuri, Fluid degassing module with helical membrane.
  13. Lei Lawrence ; Trihn Son ; Huston Joel M., Fluid delivery system and method.
  14. Ishizawa, Taku; Kimura, Hitotoshi; Shinada, Satoshi; Tsukahara, Michinari; Uehara, Yasunao, Gas absorption device, method of manufacturing the same, and liquid container.
  15. Ishizawa,Taku; Kimura,Hitotoshi; Shinada,Satoshi; Tsukahara,Michinari; Uehara,Yasunao, Gas absorption device, method of manufacturing the same, and liquid container.
  16. Gerner, Yuri; Sims, Carl W.; Thielen, Thomas, Integrated apparatus for degassing and blending multiple mobile phase streams.
  17. Peng Ray,TWX ; Liu T. Y.,TWX ; Lin Y. F.,TWX ; Wang R. C.,TWX, Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical.
  18. Wang Wen-Shyan,TWX ; Lu Shih-Hung,TWX, Method and apparatus for eliminating air bubbles from a liquid dispensing line.
  19. Yukichi Takamatsu JP; Takeo Yoneyama JP; Yoshiyasu Ishihama JP; Akira Asano JP, Method and apparatus for supplying liquid raw material.
  20. Xu Mindi ; Li Weiching, Method and system for measuring particles in a liquid sample.
  21. Hayashi Kenji,JPX, Method of degassing aqueous coating solution.
  22. Ajello Ellen Marie ; Lohmann Dieter,CHX ; Hopken Jens,DEX ; Domschke Angelika,DEX, Ophthalmic lens production process.
  23. Sims Carl W. ; Gerner Yuri ; Thielen Thomas J., Post-blending valve degasser.
  24. Raaijmakers Ivo J. ; Burkhart Chris W. ; Christensen David ; Susoeff Michael N., Pressure-induced shut-off valve for a liquid delivery system.
  25. Hasebe Keizo,JPX ; Iino Hiroyuki,JPX ; Semba Norio,JPX ; Kimura Yoshio,JPX, Resist processing apparatus.
  26. Gerner Yuri ; Sims Carl W., Solvent receptacle and degasser for use in high pressure liquid chromatography.
  27. Sims, Carl W.; Gerner, Yuri; Liu, Quan, Supersaturated fluid degassing.
  28. Nagai, Akihiko, Vacuum deaeration device.
  29. Carl W. Sims ; Yuri Gerner ; Kurt P. Hamberg, Vacuum degassing.
  30. Sims Carl W. ; Gerner Yuri ; Hamberg Kurt P., Vacuum degassing.
  31. Rutz Klaus,DEX, Vented metering pump.
  32. Crowder, Robert O.; Burban, John H.; Jersey, Steven T.; Carlson, Kevin; Saveliev, Michael, Venting and filtration systems with gas permeable membrane.
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