[특허]Gas sensor having its heater and sensing layer on opposite sides of its substrate

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Gas sensor having its heater and sensing layer on opposite sides of its substrate 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01C-007/00
출원번호	US-0097043 (1993-07-27)
발명자 / 주소	Chen I-Cherng (Hsinchu TWX) Tzeng Ming-Hann (Miaoli Hsien TWX) Tsai Ping-Ping (Hsinchu TWX) Liaw Chiu-Fong (Taipei TWX) Ku James C. H. (Taipei TWX)
출원인 / 주소	Industrial Technology Research Institute (Hsinchu TWX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 0

초록 ▼

A gas sensor that has its heater and sensing layer on opposite sides of the substrate. The gas sensor includes a buffer layer separating the gas-sensing layer from the substrate to improve mechanical strength and electrical properties. The heater is preferably formed of nickel paste and is provided

대표청구항 ▼

A gas sensor comprising: a substrate having two sides; a buffer layer coated on a first of said two sides of the substrate; at least one gas sensing layer arranged on said buffer layer; two spaced electrodes arranged on said gas sensing layer; a catalytic layer coated on said gas sensing layer and extending between the spaced electrodes; and a plurality of heaters arranged on the other of said two sides of the substrate such that the substrate separates the gas sensing layer from the plurality of heaters.

이 특허를 인용한 특허 (8)

Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawacz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James; Stawasz,Michele; Baum,Thomas H.; King,Mackenzie E.; Chen,Ing Shin; Roeder,Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
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Gu, Yuandong; Cole, Barrett E.; Higashi, Robert E., Gas sensor.
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Vigna Benedetto,ITX ; Ferrari Paolo,ITX ; Mastromatteo Ubaldo,ITX, Integrated semiconductor device comprising a chemoresistive gas microsensor and manufacturing process thereof.
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Vigna Benedetto,ITX ; Ferrari Paolo,ITX ; Mastromatteo Ubaldo,ITX, Integrated semiconductor device comprising a chemoresistive gas microsensor and manufacturing process thereof.
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Dimeo, Jr.,Frank; Chen,Philip S. H.; Chen,Ing Shin; Neuner,Jeffrey W.; Welch,James, Nickel-coated free-standing silicon carbide structure for sensing fluoro or halogen species in semiconductor processing systems, and processes of making and using same.
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Kaneko Masaya,JPX, Pyro-sensor and pyro-control circuit.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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