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특허 상세정보

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Non-contact type moving table

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F16C-032/06   
미국특허분류(USC) 414/676 ; 384/12
출원번호 US-0101847 (1993-08-04)
우선권정보 JP-0227975 (1992-08-04)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 0
초록
▼

A non-contact type moving table including a guide table having a flat guide surface at the top and a moving table which is placed on the guide table and has a moving surface which faces the guide surface of the guide table. The moving table has air blowing openings that blow out compressed air towards the guide surface of the guide table and air suction openings sucking air from the guide surface of the guide table, thus obtaining a single plane, non-contact type bearing or supporting system via the guide surface and the moving surface. As a result, the ...

대표
청구항
▼

A non-contact type XY moving table assembly for a semiconductor processing machine comprising: a guide table having a guide surface which is a flat top surface thereof; and a moving table installed on said guide table, said moving table having a moving surface which faces said guide surface of said guide table, and said moving table being provided with a plurality of air supply holes around a circumference of said moving table and a plurality of vacuum suction holes which are opened on said moving surface and surrounded by said plruality of air supply ho...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 8

  1. Kaspar Tobias Winther. Device for manipulation of objects on a pneumatic surface. USP2002066409434.
  2. Lisec, Peter. Device for transporting and supporting sheet-shaped articles, especially sheets of glass. USP2010047690870.
  3. Yassour, Yuval; Richman, Hilel; Levin, Daniel. High-Performance non-contact support platforms. USP2009057530778.
  4. Brackley, Douglas E.; Drum, David Lee; McCarthy, Paul J. Methods of processing a substrate using a flat surface air bearing assembly. USP2012068191227.
  5. Boemmel Franz,DEX ; Gebhardt Matthias,DEX. Patient support apparatus with air cushion. USP2000076092248.
  6. Clare, Joshua Arden. Pneumatic slide assembly for material handling. USP20190210214363.
  7. Ahn, Sang Eon; Jeon, Hyun Joo; Yoo, Hwan Kyu; Oh, Ji Young; Lee, Cheon Soo. Support platform of non-contact transfer apparatus. USP2012028113761.
  8. Adin, Raanan; Yassour, Yuval. System and methods for imaging employing a levitating conveyor. USP2004106810297.

IPC 상위 출원인