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[미국특허] Digital capacitive accelerometer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01P-015/125
출원번호 US-0221212 (1994-03-31)
발명자 / 주소
  • Tang William C. (Colorado Springs CO)
출원인 / 주소
  • Ford Motor Company (Dearborn MI 02)
인용정보 피인용 횟수 : 55  인용 특허 : 0

초록 ▼

A capacitive accelerometer includes electrode plates supported and aligned for movement in the direction of a substrate in which they are supported. Preferably, the plates are formed a surface micro machining, and each plate includes capacitor forming surfaces aligned at an acute angle with respect

대표청구항 ▼

A capacitive accelerometer comprising: a first plate having at least two surfaces aligned at a selected acute angle to each other; a second plate having at least two first surfaces aligned at said selected acute angle; a substrate having a support surface; and a suspension for supporting said plates

이 특허를 인용한 특허 (55) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Tay,Francis Eng Hock; Lee,Ki Bang, Acceleration sensitive switch.
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  2. Offenberg, Michael; Buchholtz, Wolfgang; Lutz, Markus, Acceleration sensor.
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  3. Classen, Johannes; Guenther, Sebastian; Steffes, Harald, Acceleration sensor having a damping device.
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  4. Axelrod, Noel; Ofek, Eran, Accelerometer.
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  5. Offenberg Michael (Tuebingen DEX), Accelerometer sensor of crystalline material and method for manufacturing the same.
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  6. Moriya Kazufumi,JPX, Angular velocity sensor.
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  7. Kano,Kazuhiko; Yoshioka,Tetsuo; Iwaki,Takao; Takeuchi,Yukihiro, Capacitance type acceleration sensor.
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  8. Rodgers M. Steven ; Burg Michael S. ; Jensen Brian D. ; Miller Samuel L. ; Barnes Stephen M., Compact electrostatic comb actuator.
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  9. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  10. Appleby,Michael; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Devices, methods, and systems involving castings.
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  11. Fateh, Sina, Discrete inertial display navigation.
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  12. Seshia Ashwin A. ; Howe Roger T., Dual-mass micromachined vibratory rate gyroscope.
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  13. Masahito Mizukoshi JP, Dynamical quantity sensor.
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  14. Mizukoshi Masahito,JPX, Dynamical quantity sensor.
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  15. Zhang Xia ; McIntyre David G. ; Tang William Chi-Keung, Fabrication method for encapsulated micromachined structures.
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  16. Pike, William Thomas; Standley, Ian, Fabrication process and package design for use in a micro-machined seismometer or other device.
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  17. Coronato, Luca; Ludovico, Alessandro Balzelli; Zerbini, Sarah, High sensitivity microelectromechanical sensor with driving motion.
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  18. Cazzaniga, Gabriele; Coronato, Luca, Integrated microelectromechanical gyroscope with improved driving structure.
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  19. Cazzaniga, Gabriele; Coronato, Luca, Integrated microelectromechanical gyroscope with improved driving structure.
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  20. Schaefer, Timothy M., Lateral motion MEMS Switch.
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  21. Zou, Bo; Luo, Hao, MEMS devices sensing both rotation and acceleration.
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  22. Yoshihara Shinji,JPX ; Inomata Sumitomo,JPX ; Ohara Fumio,JPX ; Kurahashi Takashi,JPX, Method for manufacturing a semiconductor device.
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  23. Offenberg Michael,DEX, Method for manufacturing an accelerometer sensor of crystalline material.
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  24. Clark William A. ; Juneau Thor ; Howe Roger T., Method of fabricating a sensor.
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  25. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  26. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  27. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Atkinson, James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  28. Appleby,Michael P.; Fraser,Iain; Atkinson,James E., Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby.
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  29. Mark A. Lemkin ; Allen W. Roessig ; Thor Juneau ; William A. Clark, Micro-machined accelerometer with improved transfer characteristics.
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  30. Pike,William Thomas; Standley,Ian; Syms,Richard, Micro-machined suspension plate with integral proof mass for use in a seismometer or other device.
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  31. Valzasina, Carlo; Falorni, Luca Giuseppe, Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift.
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  32. Cazzaniga, Gabriele; Coronato, Luca; Calcaterra, Giacomo, Microelectromechanical gyroscope with enhanced rejection of acceleration noises.
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  33. Cazzaniga, Gabriele; Coronato, Luca; Calcaterra, Giacomo, Microelectromechanical gyroscope with enhanced rejection of acceleration noises.
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  34. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele; Zerbini, Sarah, Microelectromechanical gyroscope with rotary driving motion and improved electrical properties.
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  35. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele; Zerbini, Sarah, Microelectromechanical gyroscope with rotary driving motion and improved electrical properties.
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  36. Coronato, Luca; Ludovico, Alessandro Balzelli; Zerbini, Sarah, Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes.
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  37. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele, Microelectromechanical structure with enhanced rejection of acceleration noise.
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  38. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele, Microelectromechanical structure with enhanced rejection of acceleration noise.
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  39. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele, Microelectromechanical structure with enhanced rejection of acceleration noise.
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  40. Clark William A., Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope.
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  41. Samuels Howard R. ; Farash Jeffrey A., Micromachined device with enhanced dimensional control.
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  42. Samuels Howard R. ; Farash Jeffrey A., Micromachined device with enhanced dimensional control.
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  43. Clark William A. ; Juneau Thor ; Howe Roger T., Micromachined vibratory rate gyroscope.
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  44. Gerfers, Friedel; Wang, Li-Peng, Piezoelectric sensor dynamic range improvement.
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  45. Lemkin, Mark A.; Juneau, Thor N.; Clark, William A.; Roessig, Allen W., Position sensing with improved linearity.
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  46. Caminada, Carlo; Prandi, Luciano, Reading circuit for MEMS gyroscope having inclined detection directions.
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  47. Gotoh Yoshitaka,JPX ; Fujita Makiko,JPX ; Takeuchi Yukihiro,JPX, Semiconductor physical-quantity sensor and method for manufacturing same.
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  48. Howe Roger T. ; Bart Stephen, Sensor with separate actuator and sense fingers.
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  49. Appleby, Michael P.; Randolph, William T.; Klinger, Jill E., Systems for large area micro mechanical systems.
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  50. Appleby, Michael P.; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  51. Appleby, Michael; Fraser, Iain; Paulus, John, Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings.
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  52. Appleby, Michael; Paulus, John; Fraser, Iain; Klinger, Jill; Heneveld, Benjamin, Systems, devices, and/or methods for producing holes.
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  53. Kang Myung-seok,KRX ; Cho Young-ho,KRX ; Song Ci-moo,KRX ; Youn Sung-kie,KRX, Tuning fork type gyroscope.
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  54. Coronato, Luca; Cazzaniga, Gabriele; Zerbini, Sarah, Uniaxial or biaxial microelectromechanical gyroscope with improved sensitivity to angular velocity detection.
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  55. Rodgers, M. Steven; Miller, Samuel L., Very compact, high-stability electrostatic actuator featuring contact-free self-limiting displacement.
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