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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0267793 (1994-06-28) |
우선권정보 | DE-4340522 (1993-11-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 0 |
A first turntable (4) has a plurality of posts (6) equidistantly distributed and arranged in a circle on the turntable (4), wherein a plurality of substrates (7) can be stacked on each post (6). Stationary loading (9) and unloading stations (10 11) are provided and the distance between each pair of
Apparatus for transferring disk-shaped substrates to and from a coating station, said apparatus comprising a first turntable having a plurality of posts equidistantly distributed and arranged in a circle on the first turntable so that a plurality of disk-shaped substrates can be arranged on each pos
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