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Actuated rotary retainer for silicone wafer box 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/00
  • B65D-085/48
출원번호 US-0334949 (1994-11-07)
발명자 / 주소
  • Gallagher Gary M. (440F Autumn Ridge Cir. Colorado Springs CO 80906) Wittman Boyd C. (2707 Northridge Dr. Colorado Springs CO 80918)
인용정보 피인용 횟수 : 44  인용 특허 : 0

초록

A semi-conductor transport container is described, which includes a box, a door and an actuated rotary retainer attached to the sidewall of the box to thereby prevent movement of the wafers within a wafer cassette during transportation and storage. The rotary retainer includes flexible fingers that

대표청구항

A container for the transportation and storage of semiconductor wafers positioned within a semiconductor wafer cassette, which holds the semiconductor wafers in the cassette, comprising: (a) a box having a closed top, a sidewall, an opening to permit insertion and removal of the semiconductor wafer

이 특허를 인용한 특허 (44)

  1. Chu, Xinsheng; Kang, Ming-Du, Cassette optimized for an inline annealing system.
  2. Chae, Yongkee; Fu, Jianming, Chemical vapor deposition tool and process for fabrication of photovoltaic structures.
  3. Bhatt, Sanjiv M.; Eggum, Shawn D., Composite substrate carrier.
  4. Bhatt, Sanjiv M.; Eggum, Shawn D., Composite substrate carrier.
  5. Bhatt,Sanjiv M.; Eggum,Shawn D., Composite substrate carrier.
  6. Krampotich Dennis J. ; Kiser D. Kerry, Cushion system for wafer carriers.
  7. Krampotich,Dennis J.; Kiser,D. Kerry, Cushion system for wafer carriers.
  8. Halpin, Michael W., Delicate product packaging system.
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  10. Chiu, Ming-Chien; Lu, Pao-Yi; Hung, Kuo Chun, FOUP and robotic flange thereof.
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  12. Ping King-Ho (Tainan TWX) Lee Jin-Yuan (Hsin-Chu TWX), Integrated circuit module fixing method for temperature cycling test.
  13. Weaver,Robert; Schlagenhauser,Ronald, Lockdown rotor for a processing machine.
  14. Antonell, Michael; Houge, Erik Cho; Plew, Larry E.; Vartuli, Catherine; Juszczak, Jennifer, Method and apparatus for minimizing semiconductor wafer contamination.
  15. Elliott, Martin R.; Shah, Vinay, Methods and apparatus for mapping carrier contents.
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  19. Narita, Shoriki; Ishida, Kenichi; Hirata, Shuichi; Shida, Satoshi, Receiver for component feed plates and component feeder.
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  26. Sung, Edward; Zu-Yi Liu, James, Systems, method and apparatus for curing conductive paste.
  27. Sung, Edward; Zu-Yi Liu, James, Systems, method and apparatus for curing conductive paste.
  28. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J. ; Ulschmid Todd M. ; Bores Gregory W., Transport module.
  29. Nyseth, David L.; Krampotich, Dennis J.; Ulschmid, Todd M.; Bores, Gregory W., Transport module.
  30. Nyseth,David L.; Krampotich,Dennis J.; Ulschmid,Todd M.; Bores,Gregory W., Transport module.
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  33. Pylant, James D.; Waber, Alan L., Wafer container.
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  37. Lin, Chin-Ming; Pan, Kuan-Lun, Wafer container with restrainer.
  38. Chiu, Ming Lung; Lu, Pao Yi, Wafer pod and wafer holding device thereof.
  39. Wu, Tzong-Ming; Hsieh, Chih-Lun; Ho, Tien-Lu, Wafer retainer.
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  41. Wu Tzong-Ming,TWX ; Huang Gwo-Jou,TWX, Wafer retaining mechanism.
  42. Eggum, Shawn D., Wafer support attachment for a semi-conductor wafer transport container.
  43. Eggum,Shawn D., Wafer support attachment for a semi-conductor wafer transport container.
  44. Pai,Wei Ming; Chen,Dar Zen; Lee,Jyh Jone; Wu,Tzong Ming; Lin,Hui Chih, Workpiece holder for clean container.
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