[특허]Mosaic target

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/34
출원번호	US-0392458 (1995-02-22)
우선권정보	JP-0196712 (1993-07-15)
발명자 / 주소	Ohhashi Tateo (Kitaibaraki JPX) Nakashima Koichi (Kitaibaraki JPX) Fukuyo Hideaki (Kitaibaraki JPX) Seki Takakazu (Kitaibaraki JPX)
출원인 / 주소	Japan Energy Corporation (Tokyo JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 0

초록 ▼

A mosaic target comprising a plurality of target block pieces of different kinds of materials selected from the group consisting of Ta, Mo, Ti, W, Zr, Nb and Si, and their alloys and compounds, said target block pieces being combined in a stripe pattern or in a radial pattern characterized in that said target block pieces have their abutting interfaces solid-phase bonded at a temperature no more than the melting points of the target block piece materials. A typical example is a Ta-Mo mosaic target. The solid-phase bonded mosaic target blank is machined to a target which is bonded to a backing plate. The solid-phase bonding produces a mosaic target of a unitary construction, eliminating gaps among the target block pieces without sacrificing the properties of the individual block pieces. Abnormal discharge owing to gaps or contamination of the resulting film by concurrent sputtering of the solder or the backing plate is avoided.

대표청구항 ▼

A mosaic target comprising a plurality of target block pieces of different kinds of materials selected from the group consisting of Ta, Mo, Ti, W, Zr, Nb and Si, and their alloys and compounds, characterized in that said target block pieces of different kinds of materials have their abutting interfaces which have been solid-phase bonded at a temperature no more than the melting points of the target block piece materials.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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