[특허]Micro-miniature piezoelectric diaphragm pump for the low pressure pumping of gases

Micro-miniature piezoelectric diaphragm pump for the low pressure pumping of gases 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-049/24 F04B-017/00
출원번호	US-0320614 (1994-10-07)
발명자 / 주소	Young Robert M. (Pittsburgh PA) Freidhoff Carl B. (Murrysville PA) Polla Dennis L. (Brooklyn Park MN) Schiller Peter J. (Plymouth MN)
출원인 / 주소	Westinghouse Electric Corp. (Baltimore MD 02)
인용정보	피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 0

초록 ▼

A pump is provided for use in a solid state mass-spectrograph for analyzing a sample gas. The spectrograph is formed from a semiconductor substrate having a cavity with an inlet, gas ionizing section adjacent the inlet, a mass filter section adjacent the gas ionizing section and a detector section adjacent the mass filter section. The pump is connected to each of the sections of said cavity and evacuates the cavity and draws the sample gas into the cavity. The pump includes at least one piezoelectrically-actuated diaphragm. Upon piezoelectrical actuation, the diaphragm accomplishes a suction stroke which evacuates the cavity and draws the sample gas into the cavity. Preferably, the diaphragm is formed from a pair of electrodes sandwiching a piezoelectric layer.

대표청구항 ▼

A pump for use in a solid state mass spectrograph for analyzing a sample gas, said mass spectrograph being formed from a semiconductor substrate having a cavity with an inlet, a gas ionizing section adjacent said inlet, a mass filter section adjacent said gas ionizing section and a detector section adjacent said mass filter section, said pump being connected to said cavity, said pump comprising at least one piezoelectrically-actuated diaphragm means, said diaphragm means accomplishing one of a suction stroke and a compression stroke upon piezoelectrical actuation, whereby said suction stroke evacuates said cavity and draws said sample gas into said cavity and said compression stroke increases the gas pressure within said pump and ejects said sample gas from said pump and said mass spectrograph.

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