[특허]Seam pressure sensor employing dielectically isolated resonant beams and related method of manufacture

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[미국특허] Seam pressure sensor employing dielectically isolated resonant beams and related method of manufacture 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01L-009/00 G01L-013/00
출원번호	US-0292406 (1994-08-18)
발명자 / 주소	Kurtz Anthony D. (Teaneck NJ) Ned Alexander A. (Bloomingdale NJ)
출원인 / 주소	Kulite Semi Conductor Products, Inc. (Leonia NJ 02)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록 ▼

A pressure transducer comprising at least one diaphragm formed in a wafer of semiconducting material, the at least one diaphragm being spaced from a first surface of the wafer, a first layer of semiconducting material disposed over the at least one diaphragm, the first layer forming at least one resonating beam over the at least one diaphragm, and a plurality of resistor elements formed from a third layer of semiconducting material disposed over the at least one resonating beam, and isolation means for dielectrically isolating the at least one resonating beam from the at least one diaphragm.

대표청구항 ▼

In a pressure transducer of the type comprising at least one diaphragm formed in a wafer of semiconducting material, said at least one diaphragm being spaced from a first surface of said wafer, a first layer of semiconducting material disposed over said at least one diaphragm, said first layer forming at least one resonating beam over said at least one diaphragm, and a plurality of resistor elements formed from a third layer of semiconducting material disposed over said at least one resonating beam, the improvement therewith, comprising: isolation means for dielectrically isolating both said at least one diaphragm and said plurality of resistors from said at least one resonating beam.

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Herb William R. ; Burns David W., Method for making a thin film resonant microbeam absolute.
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Ron S. Maynard, Method of manufacturing a vibrational transducer.
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Cheng,Andrew, Pressure measuring apparatus and pressure sensor thereof.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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