[특허]Developer preparing apparatus and developer preparing method

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01F-015/04
출원번호	US-0338222 (1994-11-09)
우선권정보	JP-0347645 (1992-12-28)
발명자 / 주소	Taguchi Satoshi (Chiba JPX) Suetsugu Masumi (Chiba JPX) Nagase Tsutomu (Chiba JPX) Nakagawa Norikazu (Chiba JPX)
출원인 / 주소	Sumitomo Chemical Co., Ltd. (Osaka JPX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 0

초록 ▼

A developer preparing apparatus for obtaining a developer containing a developer component having a definite content by mixing an undiluted developer solution containing 5 to 40% by weight of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) and pure water, and a developer preparing method for preparing the developer using the developer preparing apparatus. The developer preparing apparatus comprising a mixing bath equipped with a means for receiving and mixing an undiluted developer solution and pure water, an ultrasonic densitometer for measuring the developer component contained in the developer in the mixing bath, a flow rate controlling means for controlling the supplying flow rate of the undiluted developer solution and/or pure water into the mixing bath by the output signal from the ultrasonic densitometer, and a storage tank for receiving and storing the developer containing the developer component having the definite content in the mixing bath.

대표청구항 ▼

A developer preparing apparatus for obtaining a developer comprising a mixture of an undiluted developer solution containing 5 to 40% by weight of tetramethylammonium hydroxide, pure water containing a metal ion of not more than 0.1 ppb, an organic substance of not more than 1 ppm expressed by total carbons, and a fine particle having a diameter of not less than 0.2 m100/ml, said apparatus comprising: a mixing bath equipped with a means for receiving and mixing the undiluted developer solution and the pure water, an ultrasonic densitometer for measuring the developer in the mixing bath, a flow rate controlling means for controlling a supplying flow rate of the undiluted developer solution and/or the pure water into the mixing bath by an output signal from the ultrasonic densitometer, and a storage tank for receiving the developer from the mixing bath and for storing the developer.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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