[특허]Method and device for electrostatically investigating surface and sub-surface structures

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-027/60
출원번호	US-0190046 (1994-01-31)
국제출원번호	PCT/CA91/00270 (1991-08-01)
§371/§102 date	19940131 (19940131)
국제공개번호	WO-9303403 (1993-02-18)
발명자 / 주소	Fortin Gabriel (495 chemin de la cote Ste-Catherine Outrement Qubec CAX H2V 2B7)
인용정보	피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 0

초록 ▼

An electrostatic sensing device for investigating a surface and/or sub-surface structure comprises a central and square electrically conductive sensor plate, and four side electrically conductive elongated and rectangular sensor plates connected together and each disposed adjacent and parallel to one edge of the central plate. The arrangement of sensor plates is applied to the surface, and the central and sensor plates are then electrically charged at different rates, the charging rate of the central plate being affected by the permittivity of the investigated structure to electric field. A differential amplifier amplifies the difference between the voltages on the central and side plates as these plates charge, and a peak detector detects the highest amplitude of this amplified voltage difference and displays it on a voltmeter. As the permittivity of the structure under investigation is function of at least one characteristic thereof, and as the voltage difference is affected by the charging rates of the central and side plates themselves affected by the permittivity to electric field, the output signal from the peak detector is indicative of this characteristic of the inspected structure.

대표청구항 ▼

An electrostatic sensing device for investigating a surface and/or sub-surface structure presenting a permittivity to an electric field which is a function of at least one characteristic of said structure, comprising: at least one first electrically conductive sensor plate that can be placed in the proximity of said structure under investigation, said first sensor plate being planar and comprising a first edge; at least one second electrically conducively sensor plate comprising a second edge spaced apart from said first edge, said second sensor plate defining an acute angle with a plane of said first sensor plate; means for electrically charging said first and second plates at different rates, said charging rate of at least one said first and second plates being affected by said permittivity of the structure to said electric field produced by said plates being charged; and detecting and generating circuit for detecting a difference between respective electric voltage on said first and second plates as said plates charge, and for generating an output signal representative of the amplitude of said voltage differences which is affected by said charging rates of said first and second plates which are affected by said permittivity of said structure, whereby said output signal is a function of said permittivity and is therefore indicatively of at least one characteristic of said structure under investigation; and means for adjusting a distance between said first and second edges and said acute angle of focus said electric field produced by said first and second sensor plates being charged, in said surface or sub-surface area of interest.

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IPC	Description
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