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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0144096 (1993-10-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 83 인용 특허 : 0 |
A form of pressure sensor diaphragm and method of making that allows for the formation of long rectangular plate structures in semiconducting material, especially Silicon. A plurality or multiplicity of sensors may be constructed on a single chip, thus providing for absolute and relative sensing of
A multiple pressure sensor apparatus having a multiplicity of long rectangular diaphragm plates at least two of which are arranged so as to have their long edges in parallel and being of substantially the same dimensions as each other and each long rectangular plate having two linear sensing resisto
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