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Method for epitaxially growing aa 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-025/20
  • H01L-021/205
출원번호 US-0138564 (1993-10-18)
발명자 / 주소
  • Burk
  • Jr. Albert A. (Murrysville PA) Barrett Donovan L. (Penn Hills Township
  • Allegheny County PA) Hobgood Hudson M. (Murrysville PA) Clarke Rowland C. (Bell Township
  • Westmoreland County PA) Eldr
출원인 / 주소
  • Westinghouse Electric Corporation (Pittsburgh PA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 0

초록

A method for epitaxially growing a-axis a

대표청구항

A method for epitaxially growing SiC on a substrate comprising the steps of: a. providing an a

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Nagasawa, Hiroyuki; Yagi, Kuniaki; Kawahara, Takamitsu, Compound crystal and method of manufacturing same.
  2. Nagasawa,Hiroyuki; Yagi,Kuniaki; Kawahara,Takamitsu, Compound crystal and method of manufacturing same.
  3. Zupanick Joseph A., Method for production of gas from a coal seam using intersecting well bores.
  4. Kitou Yasuo,JPX ; Sugiyama Naohiro,JPX ; Okamoto Atsuto,JPX ; Tani Toshihiko,JPX ; Kamiya Nobuo,JPX, Method of producing single crystals and a seed crystal used in the method.
  5. Kito Yasuo,JPX ; Kotanshi Youichi,JPX ; Onda Shoichi,JPX ; Hanazawa Tatuyuki,JPX ; Kitaoka Eiji,JPX, Method of producing single-crystal silicon carbide.
  6. Philip G. Neudeck ; J. Anthony Powell, Methods for growth of relatively large step-free SiC crystal surfaces.
  7. Maruyama, Takayuki; Chiba, Toshimi, Process for manufacturing wafer of silicon carbide single crystal.
  8. Kawahara, Takamitsu; Nagasawa, Hiroyuki; Yagi, Kuniaki, Silicon carbide and method for producing the same.
  9. Yukitaka Nakano JP; Hiroyuki Nagasawa JP; Kuniaki Yagi JP; Takamitsu Kawahara JP, Silicon carbide film and method for manufacturing the same.

문의처: helpdesk@kisti.re.kr전화: 080-969-4114

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