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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0198052 (1994-02-18) |
우선권정보 | JP-0029356 (1993-02-18); JP-0107688 (1993-04-09); JP-0107689 (1993-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 0 |
A semiconductor accelerometer which can satisfy the requirements of both the sensitivity and the fracture strength without any contrivance for providing viscous liquid and beam stopper material is provided. A casing comprises a stem and a shell. The casing houses an accelerometer chip. The silicon a
A semiconductor accelerometer comprising: a beam; an accelerometer chip having a proof mass constituting thick areas suspended by said beam; and a casing for housing said accelerometer chip; wherein a resonant frequency of said beam of said accelerometer chip is controlled so as to be equal to or hi
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