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[미국특허] Photon assisted sub-tunneling electrical probe, probe tip, and probing method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01R-031/302
출원번호 US-0240993 (1994-05-11)
발명자 / 주소
  • Patterson Joseph M. (27901 Perales Mission Viejo CA 92692)
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 0

초록 ▼

An improved non-contact electrical measurement system, method, probe assembly, and probe tip. A probe tip having a photoemissive coating deposited thereon is provided and disposed substantially adjacent a measurement site of a test sample. The photoemissive coating of the probe tip is illuminated by

대표청구항 ▼

An electrical probe comprising: a probe tip; a photoemissive coating disposed upon said probe tip; a light source for generating photons of a selected wavelength and directing said photons toward said photoemissive coating disposed upon said probe tip; and an electrical sensor electrically coupled t

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  1. Liu Chwen-Ming,TWX, Abatement of electron beam charging distortion during dimensional measurements of integrated circuit patterns with scan.
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  10. Preston, Douglas A.; Johnson, Morgan T., Designed asperity contactors, including nanospikes, for semiconductor test using a package, and associated systems and methods.
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  11. Hagmann,Mark J., Efficient high-frequency energy coupling in radiation-assisted field emission.
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  12. Talanov,Vladimir V.; Schwartz,Andrew R.; Scherz,Andre; Moreland,Robert L., Method and system for measurement of dielectric constant of thin films using a near field microwave probe.
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  13. Karpov Elijah ; Linn Jack ; Belcher Richard, Multilayer microtip probe and method.
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  14. Patterson Joe, Non-contact voltage stressing method for thin dielectrics at the wafer level.
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  15. Hagmann Mark J. ; Brugat Manuel, Optoelectronic devices in which a resonance between optical fields and tunneling electrons is used to modulate the flow of said electrons.
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  16. Swart Mark A., Printed circuit board test apparatus.
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  17. Campbell,Julie A.; Jacobs,Lawrence W., Resistive probe tips.
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  18. Campbell,Julie A.; Jacobs,Lawrence W., Resistive test probe tips and applications therefor.
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  19. McClelland Gary Miles ; Rettner Charles Thomas ; Samant Mahesh Govind ; Weller Dieter Klaus, Scanning-aperture electron microscope for magnetic imaging.
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  20. Talanov, Vladimir V.; Moreland, Robert L.; Schwartz, Andrew R.; Christen, Hans M., System and method for quantitative measurements of a material's complex permittivity with use of near-field microwave probes.
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