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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0242805 (1994-05-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0 |
A system including a plurality of gas flow control units in cabinets which are connected to distribute process gas, on demand, to a plurality of utilization locations known as “tool”locations in a semi-conductor manufacturing plant. Transducers are used in the system to measure pressures and other c
In or for a process gas distribution control unit handling hazardous gasses having gas conduit means for conducting said process gas from a source towards a utilization location, control means for controlling the flow of said gas through said conduit means, and at least one gas pressure measurement
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