최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0198163 (1994-02-17) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 36 인용 특허 : 0 |
An electron beam accelerator has an accelerator tube consisting essentially of metal and ceramic components which are fused directly to each other and a transmission window generally rectangular in shape when viewed in the direction of the electron beam and is convex towards the vacuum chamber with
Apparatus for irradiating a substrate comprising: (i) a vacuum chamber including a transmission window; (ii) an electron beam generator within the vacuum chamber; and (iii) an electron beam accelerator tube, within the vacuum chamber, which accelerates and directs electrons from the generator toward
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.