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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0386368 (1995-02-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 19 인용 특허 : 0 |
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A hierarchical control system for a Pulsed Laser Deposition (PLD) growth process in which a target of a given material and a substrate are located within a vacuum chamber, and a laser transmits a laser beam, beam control means for controlling the direction of the laser beam to scan the target to pro
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