$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[미국특허] Thin film forming method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/34
출원번호 US-0076691 (1993-06-15)
우선권정보 JP-0329440 (1990-11-30)
발명자 / 주소
  • Terakado Masatomo (Yokohama JPX) Sasaki Shinji (Yokohama JPX) Saito Hiroshi (Fujisawa JPX)
출원인 / 주소
  • Hitachi, Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 39  인용 특허 : 0

초록 ▼

A method of forming a thin film by a bias sputtering method using a first target made of a refractory metal mainly composed of W and a second target made of a conductive material mainly composed of a low-melting-point metal which comprises, upon sputtering the first target made of the refractory met

대표청구항 ▼

A method of forming a thin film, made of a refractory metal including at least Ti or W, by a bias sputtering method, using a target comprised of the refractory metal, comprising the steps of: introducing a sputtering gas into a film-forming chamber; positioning a substrate, on which the thin film is

이 특허를 인용한 특허 (39) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Boyle, Christopher T.; Bailey, Steven R.; Banas, Christopher E.; Palmaz, Julio C., Balloon catheter having metal balloon and method of making same.
    상세보기
  2. Boyle, Christopher T.; Bailey, Steven R.; Banas, Christopher E.; Palmaz, Julio C., Balloon catheter having metal balloon and method of making same.
    상세보기
  3. Boyle, Christopher T.; Bailey, Steven R.; Banas, Christopher E.; Palmaz, Julio C., Balloon catheter having metal balloon and method of making same.
    상세보기
  4. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T., Complaint implantable medical devices and methods of making same.
    상세보기
  5. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T., Compliant implantable medical devices and methods of making same.
    상세보기
  6. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T., Compliant implantable medical devices and methods of making same.
    상세보기
  7. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T., Compliant implantable medical devices and methods of making same.
    상세보기
  8. Boyle, Christopher T.; Bailey, Steven R., Embolic protection device.
    상세보기
  9. Julio C. Palmaz ; Eugene A. Sprague ; Cristina Simon ; Denes Marton ; Roger W. Wiseman ; Christopher E. Banas, Endoluminal device exhibiting improved endothelialization and method of manufacture thereof.
    상세보기
  10. Palmaz, Julio C.; Sprague, Eugene A.; Simon, Cristina; Marton, Denes; Wiseman, Roger W.; Banas, Christopher E., Endoluminal device exhibiting improved endothelialization and method of manufacture thereof.
    상세보기
  11. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T.; Banas, Christopher E.; Wiseman, Roger W.; Marton, Denes, Endoluminal implantable devices and method of making same.
    상세보기
  12. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T.; Banas, Christopher E.; Wiseman, Roger W.; Marton, Denes, Endoluminal implantable stent-grafts.
    상세보기
  13. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T.; Banas, Christopher E.; Wiseman, Roger W.; Marton, Denes, Endoluminal implantable stent-grafts.
    상세보기
  14. Palmaz,Julio C.; Boyle,Christopher T.; Banas,Christopher E.; Wiseman,Roger W.; Marton,Denes, Endoluminal implantable stent-grafts.
    상세보기
  15. Boyle, Christopher T.; Bailey, Steven R.; Palmaz, Julio C.; Banas, Christopher E., Endoluminal stent, self-supporting endoluminal graft and methods of making same.
    상세보기
  16. Banas, Christopher E.; Bailey, Steven R.; Boyle, Christopher T., Guidewires and thin film catheter-sheaths and method of making same.
    상세보기
  17. Banas,Christopher E.; Bailey,Steven R.; Boyle,Christopher T., Guidewires and thin film catheter-sheaths and method of making same.
    상세보기
  18. Cao, Yong; Tang, Xianmin; Allen, Adolph Miller; Gung, Tza-Jing, High density TiN RF/DC PVD deposition with stress tuning.
    상세보기
  19. Boyle, Christopher T.; Marton, Denes; Banas, Christopher E., Implantable graft and methods of making same.
    상세보기
  20. Boyle, Christopher T.; Marton, Denes; Banas, Christopher E., Implantable graft and methods of making same.
    상세보기
  21. Palmaz, Julio C.; Sprague, Eugene A., Implantable medical devices having controlled surface properties for improved healing response.
    상세보기
  22. Singleton, Eric W.; Duxstad, Kristin J.; Anderson, Paul E., Magnetoresistive sensor with laminate electrical interconnect.
    상세보기
  23. Banas, Christopher E.; Palmaz, Julio C., Metallic implantable grafts and method of making same.
    상세보기
  24. Banas, Christopher E.; Palmaz, Julio C., Metallic implantable grafts and method of making same.
    상세보기
  25. Seiji Manabe JP; Mitsuo Kimoto JP, Method and apparatus for manufacturing semiconductor device.
    상세보기
  26. Palmaz, Julio C.; Boyle, Christopher T., Method of fabricating an implantable medical device.
    상세보기
  27. Taguwa Tetsuya,JPX ; Yamada Yoshiaki,JPX, Method of fabricating semiconductor device.
    상세보기
  28. Palmaz, Julio C.; Sprague, Eugene A.; Banas, Christopher E., Method of making implantable medical devices having controlled surface properties.
    상세보기
  29. Sims, Daniel D.; Steinmetz, Jeffrey N.; Mullens, Conor P.; Wood, Alexander Parker; Banas, Christopher E., Methods of making medical devices.
    상세보기
  30. Sims, Daniel D.; Steinmetz, Jeffrey N.; Mullens, Conor P.; Wood, Andrew Parker; Banas, Christopher E., Methods of making medical devices.
    상세보기
  31. Sims, Daniel D.; Steinmetz, Jeffrey N.; Mullens, Conor P.; Wood, Andrew Parker; Banas, Christopher E., Methods of making medical devices.
    상세보기
  32. Marton, Denes, Self-supporting laminated films, structural materials and medical devices manufactured therefrom and method of making same.
    상세보기
  33. Marton, Denes, Self-supporting laminated films, structural materials and medical devices manufactured therefrom and methods of making same.
    상세보기
  34. Marton, Denes, Self-supporting laminated films, structural materials and medical devices manufactured therefrom and methods of making same.
    상세보기
  35. Palmaz,Julio C., Self-supporting metallic implantable grafts, compliant implantable medical devices and methods of making same.
    상세보기
  36. Chiang Tony ; Ding Peijun ; Chin Barry L., Sputtering methods for depositing stress tunable tantalum and tantalum nitride films.
    상세보기
  37. Banas, Christopher E., Stents with metallic covers and methods of making same.
    상세보기
  38. Tony Chiang ; Peijun Ding ; Barry L. Chin ; Bingxi Sun, Stress tunable tantalum and tantalum nitride films.
    상세보기
  39. Palmaz,Julio C.; Sprague,Eugene A.; Fuss,Cristina; Marton,Denes; Wiseman,Roger W.; Banas,Christopher E.; Boyle,Christopher T.; Bailey,Steven R., Valvular prostheses having metal or pseudometallic construction and methods of manufacture.
    상세보기

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로