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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0466408 (1995-06-06) |
우선권정보 | JP-0227975 (1992-08-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 0 |
A non-contact type moving table including a guide table having a flat guide surface at the top and a moving table which placed on the guide table and has a moving surface which faces the guide surface of the guide table. The moving table has air blowing openings that blow out compressed air towards
A non-contact type XY moving table for a semiconductor processing machine comprising: a guide table having a guide surface which is a plane, top surface thereof; and a moving table installed on said guide table, said moving table having a moving surface which faces said guide surface of said guide t
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