[특허]Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap

Optical apparatus and method for measuring temperature of a substrate material with a temperature dependent band gap 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01K-011/00 G01J-005/48
출원번호	US-0343097 (1994-11-21)
발명자 / 주소	Johnson Shane R. (2626 Tennis Crescent Vancouver B.C. CAX) Lavoie Christian (2626 Tennis Crescent Vancouver B.C. CAX V6T 2E1 ) Nissen Mark K. (215-2190 West 7th Avenue Vancouver B.C. CAX V6K 4K
인용정보	피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 0

초록 ▼

An optical method for measuring the temperature of a substrate material with a temperature dependent bandgap. The substrate is illuminated with a broad spectrum lamp and the bandgap is determined from the spectrum of the diffusely scattered light. The spectrum of the light from the lamp is sufficiently broad that it covers the spectral range above and below the bandgap of the substrate. Wavelengths corresponding to photon energies less than the bandgap of the substrate are transmitted through the substrate and are reflected from the back surface of the substrate as well as from the front surface while the wavelengths corresponding to photon energies larger than the bandgap are reflected only from the front surface. If the front surface is polished the front surface reflection will be specular while if the back surface is rough the reflection from the back surface will be non-specular. The back surface reflection is detected with a detector in a non-specular location. From the wavelength of the onset of the non-specular reflection the bandgap can be determined which gives the temperature. The temperature is determined from the knee in the diffuse reflectance spectrum near the bandgap.

대표청구항 ▼

An optical method for measuring the temperature of a substrate material in a process chamber comprising: (a) emitting radiation from an external light source to thereby cause broad spectrum radiation to be incident upon the front surface of the substrate; (b) placing a diffuse scattering element at the back of the substrate in the optical path of the light source to reflect the light rays from the external light source in a non-specular path through the substrate; (c) locating a wavelength selective detection system in a non-specular position with respect to rays from the light source that are reflected from the front surface of the substrate; (d) analyzing the non-specularly reflected light from the substrate to determine the knee in the spectrum of the non-specularly reflected light; and (e) computing the temperature of the substrate from the knee in the spectrum.

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A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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