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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0256504 (1994-09-19) |
우선권정보 | JP-0327614 (1992-11-13) |
국제출원번호 | PCT/JP93/01660 (1993-11-12) |
§371/§102 date | 19940919 (19940919) |
국제공개번호 | WO-9411898 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 50 인용 특허 : 0 |
The present invention is a load lock chamber for a vertical type heat treatment apparatus which has no elevating device which requires the provision of lubricating oil which is a source of particles causing contamination in the chamber. Below a treatment chamber, an intermediate chamber is arranged.
A load lock chamber, which is vertically contractible and is arranged below a treatment chamber of a vertical type heat treatment apparatus capable of gas-tightly inserting a means for carrying workpieces therein, comprising: an upper chamber portion; and a lower chamber portion operatively connecte
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