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Method for the turbulent mixing of gases 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01F-003/02
  • B01F-005/04
출원번호 US-0454762 (1995-05-31)
발명자 / 주소
  • Anderson Roger N. (San Jose CA)
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc. (Santa Clara CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 0

초록

An apparatus and method for the turbulent mixing of gases are described. The invention has particular application when it is desired to produce a gas mixture including a very small quantity (ppm or less) of at least one component gas and/or wherein there is a substantial density difference between t

대표청구항

A method for the turbulent mixing of gases, comprising the steps of: a) causing each gas or gas mixture which is to be mixed to flow through an orifice or jet into a tubular enclosure in which said turbulent mixing occurs; b) positioning each orifice or jet along the surface of said tubular enclosur

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Short David R. M.,GBX, Fluid inductor apparatus having deformable member for controlling fluid flow.
  2. David M. R. Short GB, Fluid inductor system and apparatus having deformable member for controlling fluid flow.
  3. Shah, Kartik; Ghosh, Kalyanjit; McClelland, Scott, Gas mixing apparatus.
  4. Yoshida, Naohiro; Kondo, Toshiyuki, Gas processing device.
  5. Ayers William M., Method and apparatus for constant composition delivery of hydride gases for semiconductor processing.
  6. Blom, Marko Theodoor; Mulder, Michael Christiaan; Macleod Macinnes, Jordan; Allen, Raymond William Kenneth, Micromixing chamber, micromixer comprising a plurality of such micromixing chambers, methods for manufacturing thereof, and methods for mixing.
  7. Schubert, Klaus; Kraut, Manfred; Bohn, Lothar; Wenka, Achim, Mixer system, reactor and reactor system.
  8. Chung Yung-Chiang,TWX, Order-changing microfluidic mixer.
  9. Vanden Bussche, Kurt M.; Abdo, Suheil F.; Hessel, Volker; Lowe, Holger; Hardt, Steffen, Static mixer and process for mixing at least two fluids.
  10. Vanden Bussche,Kurt M.; Abdo,Suheil F.; Hessel,Volker; L철we,Holger; Hardt,Steffen, Static mixer and process for mixing at least two fluids.
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