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Bubbler for solid metal-organic percursors 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F26B-017/00
출원번호 US-0536819 (1995-09-29)
우선권정보 KR-0025196 (1994-09-30)
발명자 / 주소
  • Kim Dae-sig (Kyungki-do KRX)
출원인 / 주소
  • Samsung Electronics Co. Ltd. (Suwon KRX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 0

초록 ▼

A bubbler for solid metal-organic precursors is described. The bubbler includes a bubbler body, a carrier gas feed tube, an exhaust tube, a compressing plate and a pair of porous thin plates. A carrier gas is fed into a mass of metal-organic precursors through a feed tube which is connected with the

대표청구항 ▼

A bubbler containing solid precursors for use in a deposition process, comprising: a bubbler body containing a feed hole at the bubbler body bottom through which a carrier gas enters the bubbler, an exhaust hole at the upper part of said bubbler body through which said career gas exits the bubbler b

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Tran, Nam Hung; Deavenport, Dennis L.; Ko, Taeho; El-Zein, Nada, Bubbler for constant vapor delivery of a solid chemical.
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  2. Cunning, Hugh; Williams, Graham; Odedra, Rajesh; Kanjolia, Ravi, Bubbler for the transportation of substances by a carrier gas.
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  3. Shenai-Khatkhate, Deodatta Vinayak, Delivery device.
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  4. Shenai-Khatkhate, Deodatta Vinayak, Delivery device.
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  5. Shenai-Khatkhate, Deodatta Vinayak; Timmons, Michael L.; Marsman, Charles J.; Woelk, Egbert; DiCarlo, Jr., Ronald L., Delivery device.
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  6. McFeely,F. Read; Neumayer,Deborah A.; Yurkas,John J., Delivery systems for gases for gases via the sublimation of solid precursors.
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  7. Sri Prakash Rangarajan ; John O'Grady, Dual fritted bubbler.
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  8. Logue, Ray; Sirota, Don; Karkala, Karthik; Armour, Eric; Morath, Christopher A.; Sinharoy, Arindam, Enhanced enclosures for acoustical gas concentration sensing and flow control.
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  9. Hinde, John N., Fine bubble delivery for potable water, wastewater, and clean water treatment.
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  10. Gregg, John N.; Battle, Scott L.; Banton, Jeffrey I.; Naito, Donn K.; Laxman, Ravi K., Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material.
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  11. Gregg, John N.; Battle, Scott L.; Banton, Jeffrey I.; Naito, Donn K.; Laxman, Ravi K., Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material.
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  12. Gregg, John N.; Battle, Scott L.; Banton, Jeffrey I.; Naito, Donn K.; Laxman, Ravi K., Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material.
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  13. Gregg, John N.; Battle, Scott L.; Banton, Jeffrey I.; Naito, Donn K.; Laxman, Ravi K., Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material.
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  14. Gregg, John N.; Battle, Scott L.; Banton, Jeffrey I.; Naito, Donn K.; Laxman, Ravi K., Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material.
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  15. Kanjolia, Ravi; Platts, Chris; Nguyen, Nam; Wilkinson, Mark, Solid precursor delivery assemblies and related methods.
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  16. Cleary, John M.; Arno, Jose I.; Hendrix, Bryan C.; Naito, Donn; Battle, Scott; Gregg, John N.; Wodjenski, Michael J.; Xu, Chongying, Solid precursor-based delivery of fluid utilizing controlled solids morphology.
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  17. Wu Jin Jwang ; Nadahara Soichi,JPX ; Cohen Susan L. ; Arndt Russell, Vapor drying system and method.
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