[특허]Apparatus for combustive destruction of troublesome substances

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	F01N-003/10
출원번호	US-0567931 (1995-12-06)
발명자 / 주소	Bartz David (Santa Clara CA) Kendall Robert M. (Sunnyvale CA) Moreno Frederick E. (Los Altos CA)
출원인 / 주소	Alzeta Corporation (Santa Clara CA 02)
인용정보	피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 0

초록 ▼

The disposal of troublesome substances, especially global-warming halogenated compounds is difficult enough, but is particularly difficult when associated with particulate-forming matter, such as silane and arsine commonly encountered in waste gas streams of the semiconductor industry. The combustive destruction of the troublesome substances in such a waste gas stream is simply and successfully achieved by injecting the stream admixed with fuel gas into a combustion zone surrounded by the radiant surface of a foraminous gas burner that is separately fed fuel gas and excess air sufficient to burn all the combustibles entering the combustion zone. A simple apparatus integrates the combustion zone with a quenching zone for the combustion product stream.

대표청구항 ▼

An apparatus for the combustive destruction of particulate-forming hydrides and/or halogenated compounds, which comprises a combustion chamber laterally surrounded by an exit surface of a foraminous gas burner, and having a ceiling and an open bottom, means for injecting a stream containing at least one of said particulate-forming hydrides and/or halogenated compounds directly into the top of said combustion chamber, a cooling column below and in direct flow-communication with said combustion chamber through said open bottom, means for maintaining a flow of water down the inner surface of said column, and a gas-liquid separator connected to the bottom of said column.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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