[특허]Physical vapor deposition of diamond-like carbon films

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Physical vapor deposition of diamond-like carbon films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-003/06
출원번호	US-0321548 (1994-10-12)
발명자 / 주소	Prince Robert (R.R. #3 Stouffville Ontario CAX L4A 7X4 ) Bourdon Elisa (#8 Apsco Avenue Scarborough Ontario CAX M1E 5A8 )
인용정보	피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 0

초록 ▼

A process for forming diamond like films of carbon on substrates at room temperature using physical vapour deposition. A source of carbon is physically ablated in the vicintity of a substrate to deposit on the substrate all forms of carbon. A physical discrimination process is applied continuously to remove graphite grains while leaving the aliphatic diamond form intact. The source of carbon is typically a high purity carbon rod. The substrate is typically metal or glass placed within about 60 centimeters where laser pulse energy of 50 millijoules peak power is used. Physical ablation is carried out by ion beam, arc or laser ablation. The resulting carbon plume impinges on the substrate and is thermally quenched. Physical discrimination between carbon forms is by using a laser having a wavelength which is absorbed by graphitic forms but which passes through the aliphatic forms without absorption thereby allowing thermal quenching of the diamond like aliphatic forms. Laser power is adjusted such that the optical removal rate of graphitic forms exceeds the arrival rate. Two laser beams are utilized either by two lasers or by one by suitable optical imaging. Multiple physical configurations exist to use either one or two lasers.

대표청구항 ▼

A process for production of diamond-like carbon films having at least about 4 ev bandgap comprising the steps of: a) physically ablating a source of carbon in the vicinity of a substrate such that a carbon film grows on said substrate through bonding of carbon atoms in graphitic form and aliphatic form; and b) physically discriminating said carbon film during growth thereof by etching or supressing said graphitic form within said carbon film while permitting said aliphatic form to remain by optical discrimination applied continuously during film growth using pulsed UV laser light having a wavelength which is opaque to graphitic forms of carbon but transparent to aliphatic forms of carbon, thereby resulting in a diamond-like carbon film.

이 특허를 인용한 특허 (15)

Azami,Takeshi; Kasuya,Daisuke; Iijima,Sumio; Yoshitake,Tsutomu; Kubo,Yoshimi; Yudasaka,Masako, Carbon nanohorn producing device and carbon nanohorn producing method.
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Starcke,Steven F.; Kearnes,Ronald H.; Bennet,Keven E., Coatings for gemstones and other decorative objects.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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Chang,Hsiao Kuo, Method for manufacturing diamond film.
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Vijayen S. Veerasamy ; Rudolph Hugo Petrmichl, Method of depositing DLC inclusive coating on substrate.
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Martinez,Gonzalo, Method of manufacture of smart microfluidic medical device with universal coating.
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Kearnes, Ronald H.; Kearnes, Debbie; Starcke, Steven F., Multi-color gemstones and gemstone coating deposition technology.
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Liu, Shuangbio; Dam, Chuong Quang; Feng, Bao; Hua, Dongyun, Textured coating on a component surface.
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Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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