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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0387729 (1995-02-16) |
우선권정보 | DE-4236578 (1992-10-29) |
국제출원번호 | PCT/EP93/02919 (1993-10-22) |
§371/§102 date | 19950216 (19950216) |
국제공개번호 | WO-9410097 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 5 |
During the gradual build-up of porous quartz glass by the combustion of a hydrolysis gas mixture and preferably for a certain period of time thereafter, a drying gas mixture is conducted under positive pressure through the porous tubular deposit from the inside to the outside as it is being built-up
Process of manufacturing a quartz glass preform, said process comprising providing a tubular substrate made of a porous oxide ceramic, providing a hydrolysis gas mixture containing silicon tetrachloride and oxygen, building up a deposit of glass soot consisting of partially fused quartz glass on sai
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