[특허]Aerosol process for the manufacture of planar waveguides

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-005/06 B05D-003/08
출원번호	US-0331460 (1994-10-31)
발명자 / 주소	Kilian Arnd H. (Summit NJ) MacChesney John B. (Lebanon NJ) Morse Theodore F. (Providence RI)
출원인 / 주소	Lucent Technologies Inc. (Murray Hill NJ 02)
인용정보	피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0

초록 ▼

A new method for the manufacture of glass films on substrates involves the flame reaction of an aerosol comprised of droplets of a solution containing all the precursors for the glass. A solution containing the precursors for all oxide components is atomized, and the resulting droplets are reacted in a flame to form spherical glass particles which are deposited on a heated substrate. By moving the substrate through the flame, a homogeneous deposit is achieved. Subsequent heat treatment in a furnace sinters the porous particle layer into a clear glass. The method has been successfully employed for the formation of sodium borosilicate glass films on silicon substrates and rare earth-doped multicomponent glass films for active devices.

대표청구항 ▼

A method for making a planar optical waveguide device comprising the steps of: providing a substrate; forming an aerosol comprising liquid droplets of a solution containing all elements contained in a glass to be formed; reacting said droplets by passing them through a flame to form particles of said glass; depositing said particles on said substrate to form a particulate layer; sintering said particulate layer to form a continuous layer; and finishing said waveguide device.

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