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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0439010 (1995-05-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0 |
An erosion resistant electrostatic chuck 20 for holding a substrate 45 having a peripheral edge 50, in an erosive environment, comprises an electrostatic member 25 including (i) an electrode 30, and (ii) an insulator 35 covering the electrode. A barrier 55 is circumferentially disposed about the ele
An erosion resistant electrostatic chuck for holding a substrate having a peripheral edge, in an erosive environment, the chuck comprising: (a) an electrostatic member for electrostatically holding the substrate, the electrostatic member comprising (i) an electrode, and (ii) an insulator covering th
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