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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0368799 (1995-01-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 115 인용 특허 : 0 |
A method and apparatus for providing sequential temporal and spatial integration of a collimated non-symmetrical excimer laser beam to optimize the temporal and spatial characteristics of the beam. The temporal integrator comprises a pair of cylindrical lenses spaced along the beam axis by a distanc
In a laser system having a collimated laser beam with an axis, a laser beam delivery apparatus for temporally and spatially integrating the laser beam, said apparatus comprising: a temporal beam integrator for rotating said beam about the axis thereof, said temporal beam integrator comprising a pair
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