[특허]Method for producing at least one recess in a surface of a substrate apparatus for carrying out the said method and use

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Method for producing at least one recess in a surface of a substrate apparatus for carrying out the said method and use 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/3065
출원번호	US-0640972 (1996-05-10)
우선권정보	DE-4338575 (1993-11-11)
국제출원번호	PCT/DE94/01274 (1994-10-28)
§371/§102 date	1996May1 (1996May1)
국제공개번호	WO-9513525
발명자 / 주소	Peters Dethard (Hochstadt DEX)
출원인 / 주소	Siemens Aktiengesellschaft (Munchen DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 7

초록 ▼

With the proposed method, a masking device (5) with an aperture (6) is placed on the substrate (8), the masking device (5) and the region to be etched (90) on the substrate surface (9) forming a hollow chamber (11) which communicates with the reaction chamber (4) only via the aperture (6). The recess (10) is produced with the aid of corrosive radicals produced in the reaction chamber. In this way, a recess (10) with a smooth and precisely adjustable depth contour is obtained.

대표청구항 ▼

A method for producing a shaped bed for a membrane of a pressure sensor, in which a recess (10) having a ridgeless profile is etched in a surface (9) of a homogeneous substrate (8) to form the shaped bed, comprising the steps of: a) using a semiconductor material as the substrate (8), b) arranging the substrate (8) in a reaction chamber (4), c) arranging a masking device (5) with at least one aperture (6) on a surface (9) of the substrate (8) in such a way that a hollow chamber (11) which communicates with reaction chamber (4) via the at least one aperture (6) is formed below the masking device (5), wherein the hollow chamber (11) of the masking device (5) extends outward on the surface (9) of the substrate (8) further than the recess (10) to be etched, and d) providing etching radicals in the reaction chamber (4) that react chemically with the semiconductor material of the substrate (8) to form a volatile reaction product.

이 특허에 인용된 특허 (7)

Kersten Jens-Heinrich (Kamen-Heeren DEX) Schmitz Detlef (Lunen DEX), Deformable container for delivering liquid.
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Gobrecht Jens (Gebenstorf CHX) Voboril Jan (Nussbaumen CHX), Method for producing a coating layer for semiconductor technology and also use of the coating layer.
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Fujii Tetsuo (Toyohashi JPX) Kuroyanagi Susumu (Anjo JPX) Kuroyanagi Akira (Okazaki JPX) Funahashi Tomohiro (Kasugai JPX) Sakai Minekazu (Aichi JPX) Yoshihara Shinji (Anjo JPX), Method of fabricating a semiconductor pressure sensor.
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Sidner Diane W. (Noblesville IN) Yoder Douglas J. (Sharpsville IN) Moss David E. (Kokomo IN), Method of making a semiconductive structure useful as a pressure sensor.
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Arndt Frank (Berlin DEX) Schlaak Helmut (Berlin DEX), Process for manufacturing a pressure-difference sensor.
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Sidner Diane W. (Noblesville IN) Yoder Douglas J. (Sharpsville IN) Moss David E. (Kokomo IN), Semiconductive structure useful as a pressure sensor.
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Koide Akira (Chofu JPX) Sato Kazuo (Tokyo JPX) Suzuki Seiko (Hitachi-Ota JPX) Ichikawa Norio (Mito JPX) Obayashi Hidehito (Tokyo JPX) Hayashi Masahide (Katsuta JPX), Structure and method of manufacturing the same.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

Jurgensen Charles W. ; Johnson Gregory A. ; Taravade Kunal N., Confinement device for use in dry etching of substrate surface and method of dry etching a wafer surface.
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Jurgensen, Charles W.; Johnson, Gregory A.; Taravade, Kunal N., Confinement device for use in dry etching of substrate surface and method of dry etching a wafer surface.
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Inomata,Yosuke; Fukawa,Yuko, Dry etching apparatus, dry etching method, and plate and tray used therein.
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Inomata, Yosuke; Fukawa, Yuko, Method for producing a solar cell.
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Olsen, Leif C.; Swanson, Leland S.; Edwards, Henry L., Silicon carbide as a stop layer in chemical mechanical polishing for isolation dielectric.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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