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Photoresist composition comprising a polyfunctional vinyl ether compound 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G03C-001/72
  • G03C-001/73
  • C08F-002/50
출원번호 US-0525186 (1995-09-08)
우선권정보 JP-0217665 (1994-09-12)
발명자 / 주소
  • Hozumi Shigeo,JPX
  • Nakagawa Hiroya,JPX
출원인 / 주소
  • Sumitomo Chemical Company, Limited, JPX
대리인 / 주소
    Birch, Stewart, Kolasch & Birch, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 13

초록

which can be used in photolithography or for producing a color filter.

대표청구항

[ What we claim is:] [1.] A negative working photoresist composition which comprises:(1) a photopolymerizable monomer mixture represented by the following formula (I): [ STR 16 ] wherein n, which is an average repeating number, represents a number of from 0 to 20; R.sub.1 and R.sub.2 each independen

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Crivello James V. (Clifton Park NY), Aromatic polyvinyl ethers and heat curable molding compositions obtained therefrom.
  2. Crivello James V. (Clifton Park NY), Aromatic polyvinyl ethers and heat curable molding compositions obtained therefrom.
  3. Crivello James V. (Clifton Park NY), Aromatic polyvinyl ethers and heat curable molding compositions obtained therefrom.
  4. Klemarczyk Philip T. (Collinsville CT) Okamoto Yoshihisa (Avon CT), Aromatic vinyl ether compounds and compositions, and method of making the same.
  5. Klemarczyk Philip T. (Collinsville CT) Okamoto Yoshihisa (Avon CT), Aromatic vinyl ether compounds and compositions, and method of making the same.
  6. Takazume Masafumi (Osaka JPX) Ishikawa Kazuhiko (Kashiwara JPX), Convection cooking apparatus.
  7. Miyabe Masanori (Fujisawa JPX) Kohara Hidekatsu (Chigasaki JPX) Nakayama Toshimasa (Hiratsuka JPX), Electron beam-curable resist composition and method for fine patterning using the same.
  8. Hefner ; Jr. Robert E. (Lake Jackson TX), Mesogenic adducts.
  9. Bloss Wolfgang (Gummersbach DEX) Mohn Ulrich (Bergisch-Gladbach DEX), Method of treating final products from flue gas desulfurization.
  10. Roth Martin (Giffers CHX) Meier Kurt (Allschwil CHX), Negative photoresist based on polyphenols and epoxy compounds or vinyl ethers.
  11. Meier Kurt (Binningen CHX) Roth Martin (Giffers CHX) Schulthess Adrian (Tentlingen CHX) Wolleb Heinz (Ependes CHX), Negative photoresist based on polyphenols and selected epoxy or vinyl ether compounds.
  12. Hozumi Shigeo (Ibaraki JPX) Kitayama Shinichiro (Ibaraki JPX) Nakagawa Hiroya (Ibaraki JPX), Polyfunctional vinyl ether compound and photoresist resin composition containing the same.
  13. Schwalm Reinhold (Wachenheim DEX) Binder Horst (Lampertheim DEX), Positive and negative working radiation sensitive mixtures and production of relief patterns.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Barr,Robert K.; Anzures,Edgardo; Lundy,Daniel E., Dry film photoresist.
  2. Barr,Robert K.; Anzures,Edgardo; Lundy,Daniel E., Functional polymer.
  3. Barr,Robert K.; Anzures,Edgardo; Lundy,Daniel E., Functional polymer.
  4. Shelnut James G., I-line photoresist compositions.
  5. Shelnut, James G., I-line photoresist compositions.
  6. Tanaka, Keita; Matsuoka, Yuki; Kunimoto, Kazuhiko; Asakura, Toshikage; Kura, Hisatoshi, Latent acids and their use.
  7. Nakamura, Ippei; Sorori, Tadahiro, Negative image-recording material.
  8. Nakamura, Ippei; Sorori, Tadahiro, Negative image-recording material and method of image formation.
  9. Nishimae, Yuichi; Kura, Hisatoshi; Kunimoto, Kazuhiko; Yamagami, Ryuhei; Tanaka, Keita, Oxime ester.
  10. Kunimoto, Kazuhiko; Kura, Hisatoshi; Yamamoto, Hiroshi; Nakagawa, Yumiko; Asakura, Toshikage; Sameshima, Kaori, Oxime ester photoinitiators.
  11. Nishimae, Yuichi; Kura, Hisatoshi; Kunimoto, Kazuhiko; Yamagami, Ryuhei; Tanaka, Keita, Oxime ester photoinitiators.
  12. Nishimae, Yuichi; Kura, Hisatoshi; Kunimoto, Kazuhiko; Yamagami, Ryuhei; Tanaka, Keita, Oxime ester photoinitiators.
  13. Kim, Chadong; Kang, Hoon; Sung, Wooyong; Lee, Hikuk; Kim, Changhoon; Park, Jungin; Yun, Sanghyun; Lee, Kibeom; Chang, Jaehyuk; Kang, Deokman; Kim, Younsuk; Oh, Saetae, Photoresist composition and method of manufacturing substrate for display device by using the same.
  14. Kura, Hisatoshi; Sameshima, Kaori; Kunimoto, Kazuhiko; Nesvadba, Peter; Ohwa, Masaki, Photoresist compositions.
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