[특허]Method of forming electron beam emitting tungsten filament

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Method of forming electron beam emitting tungsten filament 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-009/02
출원번호	US-0574480 (1995-12-19)
발명자 / 주소	Alvis Roger L. Gray Janice Tracy Bryan
출원인 / 주소	Advanced Micro Devices, Inc.
인용정보	피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 4

초록 ▼

Electron beam emitting filaments having a tip with a radius of curvature less than about 50 .ANG. are produced using focused ion beam milling. In one embodiment, platinum is deposited on a tungsten loop electron beam filament and sharpened using focused ion beam milling to a radius of curvature less

대표청구항

[ We claim:] [1.] A method of manufacturing an electron beam emitting filament having a tip, which method comprises: depositing platinum on an electron beam emitting filament; and sharpening the deposited platinum with a focused ion beam to produce the tip.

이 특허에 인용된 특허 (4)

Kado Hiroyuki (Katano JPX) Tohda Takao (Ikoma JPX), Cantilever stylus for use in an atomic force microscope and method of making same.
상세보기
Hori Yoshikazu (Kobe JPX) Koga Keisuke (Uji JPX), Field-emitter having a sharp apex and small-apertured gate and method for fabricating emitter.
상세보기
Ayers Jack D. (Oakton VA), Method of making composite field-emitting arrays.
상세보기
Busta Heinz H. (Park Ridge IL), Recessed gate field emission.
상세보기

이 특허를 인용한 특허 (3)

Colby, Steven M., Electron source.
상세보기
Lyding, Joseph W.; Schmucker, Scott W., Nanometer-scale sharpening of conductor tips.
상세보기
Musket Ronald G., Sharpening of field emitter tips using high-energy ions.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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