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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0390542 (1995-02-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 0 |
Apparatus and method are provided for forming coatings of transition metal compounds on solid bodies using cathodic arcs and a reactive gas in a vacuum chamber. The metal composition of the coatings is varied by moving the articles to be coated through the vacuum chamber having cathodes at selected
[ What is claimed is:] [1.] Apparatus for depositing a coating of a modulated composition of transition metal compounds from a reactive plasma cathodic arc on to articles, comprising:a vacuum chamber having inlets for controlling entry of a selected gas;a movable carriage;a movable support member at
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