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Piezoresistive device and fabrication method thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-001/22
출원번호 US-0716550 (1996-09-19)
우선권정보 KR-0047862 (1995-12-08)
발명자 / 주소
  • Lee Seong-Jae,KRX
  • Park Kyoung-Wan,KRX
  • Shin Min-Cheol,KRX
출원인 / 주소
  • Electronics and Telecommunications Research Institute, KRX
대리인 / 주소
    Antonelli, Terry, Stout & Kraus, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 8

초록

Disclosed is the method of producing a piezo-device utilizing an ultra-thin Mo-C film as a piezoresistive material for a general class of improved piezo-device with the high sensitivity and the weak temperature dependence.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A piezoresistive device, comprising:two electrodes formed on a substrate for serving as a pressure-sensing part, having a gap between them;a piezoresistive member composed of an ultra-thin metallic film formed on said substrate, bridging the gap between two electrodes; an

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Shah Mahesh (Scottsdale AZ), High pressure sensor structure and method.
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  2. Verkade John G. (Ames IA), Single-source molecular organic chemical vapor deposition agents and use.
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  3. Fuchs Harald (Gruenstadt DEX) Gleiter Herbert (Saarbruecken DEX) Trapp Stephan (Meschweiler DEX) Petermann Juergen (Buxtehude DEX), Strain gage having a thin discontinuous metal layer.
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  4. Yajima Yasuhita (Nagoya JPX) Shitaba Kaszuyoshi (Nagoya JPX) Mase Syunzo (Aichi JPX), Strain sensor.
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  5. Sugino Kazuo (Fukuoka JPX) Sakamoto Hiroaki (Kawasaki JPX) Inaguma Toru (Kawasaki JPX), Stress sensor fabricated from a material having precipitated granular carbides.
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  6. Keem John E. (Bloomfield Hills MI) Ovshinsky Stanford R. (Bloomfield Hills MI) Sadate-Akhavi Hossein (Bloomfield Hills MI) Chen Juei-Teng (Sterling Heights MI) Kadin Alan M. (Troy MI), Superconducting films and devices exhibiting AC to DC conversion.
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  7. Kodato Setsuo (Atsugi JPX), Thin film conductor which contains silicon and germanium as major components and method of manufacturing the same.
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  8. Bringmann Udo (Halstenbek DEX) Dssel Olaf H. (Ellerau DEX) Gerstenberg Klaus W. (Halstenbek DEX) Krsten Gerhard (Hamburg DEX) Orlowski Reiner U. (Quickborn DEX) Schn Detlef G. (Halstenbek DEX), Thin-film strain gauge system and method of manufacturing same.
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이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Elmegreen, Bruce G.; Krusin-Elbaum, Lia; Martyna, Glenn J.; Liu, Xiao Hu; Newns, Dennis M.; Chen, Kuan-Neng, Coupling piezoelectric material generated stresses to devices formed in integrated circuits.
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  2. Elmegreen, Bruce G.; Krusin-Elbaum, Lia; Martyna, Glenn J.; Liu, Xiao Hu; Newns, Dennis M.; Chen, Kuan-Neng, Coupling piezoelectric material generated stresses to devices formed in integrated circuits.
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  3. Tsukada, Kouji; Sakata, Jiro; Mizuno, Kentaro; Omura, Yoshiteru; Masuoka, Yumi; Hashimoto, Shoji, Force sensors.
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  4. Elmegreen, Bruce G.; Martyna, Glenn J.; Newns, Dennis M.; Schrott, Alejandro G., Non-volatile, piezoelectronic memory based on piezoresistive strain produced by piezoelectric remanence.
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  5. Elmegreen, Bruce G.; Martyna, Glenn J.; Newns, Dennis M.; Schrott, Alejandro G., Non-volatile, piezoelectronic memory based on piezoresistive strain produced by piezoelectric remanence.
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  6. Stewart, Ray F., Phase change sensor.
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  7. Elmegreen, Bruce G.; Krusin-Elbaum, Lia; Liu, Xiao Hu; Martyna, Glenn J.; Muser, Martin; Newns, Dennis M., Piezo-driven non-volatile memory cell with hysteretic resistance.
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  8. Elmegreen, Bruce G.; Krusin-Elbaum, Lia; Martyna, Glenn J.; Liu, Xiao Hu; Newns, Dennis M., Piezo-effect transistor device and applications.
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  9. Elmegreen, Bruce G.; Martyna, Glenn J.; Newns, Dennis M.; Solomon, Paul M., Piezoelectronic memory.
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  10. Karasawa,Fumiaki; Ooba,Etsuo; Yajima,Hiroshi, Stress sensor for electronic devices.
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  11. Ueno, Naohiro; Akiyama, Morito; Ikeda, Kiichi; Tateyama, Hiroshi, Thin pressure sensor and biological information measuring device using same, and biological information measuring method.
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